

清华大学教授离岗创业,华海清科IPO,总市值250亿元。高端半导体设备,清华大学创办的又一家公司过会。
芯榜消息 刚刚,华海清科成功登陆科创板,发行价为136.66元/股。华海清科开盘价为235元/股,涨幅达70%。开盘后总市值近250亿。华海清科的主营业务为CMP(化学机械抛光)设备,是目前国内唯一一家能够提供半导体12英寸CMP商业机型的厂商,其产品可覆盖8英寸(200mm)、12英寸(300mm)晶圆产线,已应用于中芯国际、长江存储、华虹集团、英特尔等国内外芯片厂商的产线中。国家02专项总师叶甜春在上市仪式上评价道,华海清科作为CMP设备供应商,不仅打入了晶圆产线,还成为了晶圆厂的主力供应商,为国产半导体的自主可控做出了较大贡献。
华海清科公司产品已进入部分国际主流集成电路制造商在国内的大生产线,可实现 28nm 及以上成熟制程的产业化应用,高端工艺技术水平 14nm 制程仍处于客户验证阶段。华海清科公司 CMP设备已累计出货 58 台,在手订单 35 台,设备已广泛应用于中芯国际、长江存储、华虹集团、英特尔、长鑫存储、厦门联芯、广州粤芯、上海积塔等国内外先进集成电路制造商的大生产线中。华海清科募资15.1亿,本次发行募集资金扣除发行费用后,将按照项目的轻重缓急分别投资于高端半导体装备(化学机械抛光机)产业化项目、高端半导体装备研发项目、晶圆再生项目:
▲华海清科募资计划
▲华海清科首台12英寸超精密晶圆减薄机正式出货
01.CMP设备高度垄断国内:华海清科、烁科精微两家
全球 CMP 设备市场处于高度垄断状态,主要由美国应用材料和日本荏原两家设备制造商占据,两家制造商合计拥有全球 CMP 设备超过 90%的市场份额,尤其在 14nm 以下最先进制程工艺的大生产线上所应用的 CMP 设备仅由两家国际巨头提供。2020 年中国大陆 CMP 设备市场规模达 4.3 亿美元,但绝大部分的高端 CMP设备仍然依赖于进口,也主要由美国应用材料和日本荏原两家提供;国内 CMP主要研发生产单位有华海清科和北京烁科精微电子装备有限公司,其中华海清科是国产 12 英寸和 8 英寸 CMP 设备的主要供应商,所生产的 CMP 设备已广泛应用于中芯国际、长江存储、华虹集团、大连英特尔、厦门联芯、长鑫存储、广州粤芯、上海积塔等行业内领先集成电路制造企业的大生产线,占据国产 CMP设备销售的绝大部分市场份额。北京烁科精微电子装备有限公司成立于 2019 年,系中国电子科技集团有限公司所属中电科电子装备集团有限公司设立的混合所有制公司,主要经营 CMP设备的研发、生产及销售,其生产的 8 英寸 CMP 设备已通过中芯国际和华虹集团验证并实现商业销售,首台 12 英寸 CMP 设备于 2021 年 2 月发往客户处进行验证。1、CMP 设备在半导体厂/晶圆厂使用流程示意图
2、华海清科CMP 设备产业应用情况
3、CMP 设备行业的技术发展趋势:CMP 设备在较长时间内不存在技术迭代周期,应用于 28nm 和 14nm 的 CMP 设备没有显著的差异,仅是特定模块技术的优化。CMP工艺由 14nm 持续向 7nm、5nm、3nm 先进制程推进过程中,CMP 技术将不断趋于抛光头分区精细化、工艺控制智能化、清洗单元多能量组合化方向发展,抛光驱动技术、压力调控技术、智能控制系统、终点识别检测系统以及智能清洗模块等关键模块技术将是 CMP 技术未来发展的重要突破方向。4、华海清科CMP技术迭代集成电路行业的发展趋势体现在需求剧增但制程节点迭代放缓,目前全球所有高端芯片制造工艺中,CMP 与光刻、刻蚀、离子注入、薄膜沉积等环节一起广泛应用于先进集成电路制造中,目前最先进 3nm 制程中的平坦化工艺仍仅基于当前的 CMP 方式独立完成,且未来发展趋势 3D IC 工艺也会大量使用 CMP技术,因此目前为止 CMP 技术无被替代的风险。目前量产应用于 14nm 以上制程的 CMP 产品,通过对其抛光模块、后清洗模块、工艺控制模块等关键模块进行结构升级或技术优化便可实现向 14nm 以下制程节点的过渡,并且将通过持续的升级优化进一步向 7nm、5nm、3nm 等更先进制程节点过渡。相关技术存在迭代风险。5、华海清科主要产品演变和技术发展情况华海清科公司自成立至今,一直专注于 CMP 设备和工艺及配套耗材的研发,坚持自主研发和持续创新,独立开发并推出了 Universal-200Plus、Universal-300Plus、Universal-300Dual、Universal-300X 等主打产品。公司主要产品演变和技术发展情况如下:
02.关联交易占比较高客户天团:长江存储、华虹、中芯、长鑫华海清科公司推出了国内首台拥有核心自主知识产权的 12 英寸 CMP 设备并实现量产销售,是目前国内唯一一家为集成电路制造商提供 12 英寸 CMP 商业机型的高端半导体设备制造商;公司所产主流机型已成功填补国内空白,打破了国际巨头在此领域数十年的垄断,有效降低了国内下游客户采购成本及对国外设备的依赖,支撑国内集成电路产业的快速发展。1、报告期内,华海清科公司主要产品为 CMP 设备,其产销情况如下表所示:
2、前五名客户的名称、销售金额及占营业收入的比例
3、关联交易占比较高的风险报告期内,公司关联销售金额分别为 17.20 万元、12,370.48 万元和 22,902.96万元,占当期营业收入的比例分别为 0.48%、58.65%和 59.35%。其中公司对关联方长江存储和华虹集团的具体销售收入及占比情况如下:
03.清华大学实控人董事长路新春存近百条风险

控人为清华大学
据了解,华海清科成立于2013年,由清控创投、康茂怡然、天津财投、科海投资、天津科融出资设立,是一家拥有核心自主知识产权的高端半导体设备制造商,主要从事半导体专用设备的研发、生产、销售及技术服务,主要产品为化学机械抛光(CMP)设备。
截至招股说明书签署日,清控创投持有华海清科37.85%的股权,为公司控股股东。同时,清控创投为清华大学的全资孙公司,因此,清华大学为华海清科的实控人。
据证券时报2020年7月的一篇报道统计,清华大学是14家上市公司大股东,包含11只A股,如辰安科技、紫光学大、启迪古汉等,辰安科技实际控制人为清华大学。
需要指出的是,IPO日报发现,作为实控人,清华大学对华海清科的帮助不小。
先看“清华味浓”的董事会。截至招股说明书签署日,华海清科的董事会共有9名成员构成,其中独立董事3名。具体如下:

董事长路新春存近百条风险
华海清科现任董事长兼首席科学家路新春直接持有的460.2141万股股份存在质押情况,质押权人为清华控股,质押原因系公司间接控股股东清华控股为公司银行贷款提供担保,路新春将上述股份质押作为反担保。
据天眼查显示,公司董事长路新春目前任职9家企业,担任股东8家,担任高管7家,实际控制10家企业。
尤为注意的是,路新春周边风险有7条,预警提醒也有80条。
04.华海清科:战略规划
纵向延伸方面对公司已有 12 英寸和 8 英寸 CMP 设备的抛光工艺、产能、关键耗材及技术服务进行持续创新升级,进一步提高公司在中国乃至全球的 CMP 设备及配套服务的市场份额及影响力;横向扩展上充分利用自身在 CMP 领域工艺和技术的深厚积淀,围绕集成电路先进制程中晶圆减薄所需超精密磨削技术及再生晶圆代工的市场需求,集中力量研发及开拓 12 英寸晶圆减薄抛光一体机、再生晶圆代工业务、CMP 耗材业务,为公司未来发展创造更大空间和新的利润增长点。未来 3-5 年,公司将坚持以集成电路产业需求为导向,以自主研发与产业化应用为关键突破口,加强与上下游核心企业的紧密合作,形成集成电路关键制造装备、耗材及技术服务、晶圆再生代工业务协同发展的技术布局与市场定位,立足国内、面向全球,努力提升在全球集成电路装备领域的市场份额和影响力,发展成为国际知名的集成电路高端装备及技术服务供应商。-END-----全文到此为止,如果喜欢,请点下“在看”或分享到朋友圈。中国半导体封测大会www.fengce.com.cn中国封装年会www.fengce.com.cn推荐学习:1、长按注册看:西门子EDA!人工智能/机器学习EDA工具,视频回放!
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