华虹无锡新增设备招标30台，燕东微新增设备招标38台，芯源微新增中标设备14台

本周，华虹无锡新增设备招标30台，燕东微新增设备招标38台，上海积塔半导体新增设备招标20台，福建晋华新增设备招标26台；芯源微新增中标设备14台，ASML新增中标设备1台，上海微电子新增中标设备1台，中微半导体新增中标设备1台。

作者｜vinson    校对｜若冰

集微网消息，本周，华虹无锡新增设备招标30台，燕东微新增设备招标38台，上海积塔半导体新增设备招标20台，福建晋华新增设备招标26台；芯源微新增中标设备14台，ASML新增中标设备1台，上海微电子新增中标设备1台，中微半导体新增中标设备1台。

重要招标数据：

本周招标127台设备，其中，刻蚀设备7台，CVD1台，工艺检测6台，离子注入9台，涂胶显影1台，其他设备103台。

重要中标数据：

本周中标83台设备，其中，光刻设备3台，刻蚀设备2台，PVD2台，工艺检测3台，离子注入5台，其他设备68台。

本周重点企业动态：

5月25日，沪硅产业拟15.5亿元设立控股子公司，实施300mm半导体硅片扩产项，上海新昇半导体是扩产项目的主要实施及推进主体；近日，市调机构TechInsights发布2022年十大半导体设备商排名，光刻机巨头ASML排名第二；北方华创在投资者互动平台上表示，近年来公司单晶炉产品累计向客户销售近5000台；据外媒报道，半导体设备巨头应用材料将于集成电路领域顶级会议VLSI Symposium上，发布其模拟AI芯片设计方案。

以下是本周部分招标信息汇总：

以下是本周部分中标信息汇总：