imec联手半导体价值链伙伴 共同迈向晶片制造净零碳排放

比利时微电子研究中心（imec）于本周举行的2022年未来高峰会（Future Summits 2022）上宣布，其永续半导体技术与系统（Sustainable Semiconductor Technologies and Systems；SSTS）研究计划成功汇集了半导体价值链的关键成员，从像是苹果、微软等科技巨头，到ASM、ASML、日本KURITA、日本SCREEN与东京电子（Tokyo Electron）等半导体设备商，全都参与其中。

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imec为了推动永续发展，协助半导体产业减少碳足迹，去年成立了这项研究计划，今年有了这些新伙伴的加入，将能促进全面性会谈，过程中还能借助imec的专业能力与知识来降低半导体产业带来的环境影响。

半导体产业正在蓬勃发展，市场需求之大前所未见，而晶片作为智慧移动装置、物联网（IoT）系统、与运算系统不可或缺的整合零组件，已经深深嵌入在现代生活当中。然而，半导体制造有其负面影响，需要消耗大量的能源与水资源，还会产生有害废料。

要解决这个问题，必须动员整体价值链齐心投入，而导入生态系的思维会是关键。尽管系统整合商与无晶圆厂晶片公司致力在2030年或2040年之前实现碳中和目标，持续在其供应链与产品中投资减碳措施，但对于采用全新技术的晶片制造，他们通常缺乏正确洞见，难以做出贡献，因为有关生命周期分析的现存资料有限。

imec透过其SSTS研究计划，号召半导体价值链全员合作，共同缩减半导体产业在环境留下的碳足迹。该计划整合了imec阵容强大的合作伙伴生态系，以及在制程技术、基础设施与机械方面的专业洞察，能够提供半导体价值链伙伴独到见解，帮助了解在晶片技术定义与制造阶段做出特定选择所带来的环境影响。苹果公司于去年携手imec加入SSTS研究计划，是首位公开的合作伙伴，现在像是微软等数家大型系统整合公司也偕手跟进。

SSTS研究计划评估新科技带给环境的影响，辨认影响重大的问题，并界定出那些增强环保意识的半导体制造解决方案。

SSTS研究计划主持人Lars-Ake Ragnarsson表示：「目前导入较先进技术的半导体IC制造在环境足迹方面出现了资料缺口，这也是我们现在会先评估环境影响的原因，如此一来，我们才能在采用新一代技术时，利用这些讯息做出选择。设备、材料与工具供应商是进行早期规画的关键，举例来说，他们可以设计更多环境友善的制程和生产工具，以应对未来这些新技术可能带来的重大问题。我们也在联系多家晶圆厂，以期协助验证与衡量这些评估结果。透过这个方式将整个半导体价值链纳入共同合作，SSTS研究计划可以尽可能地发挥其影响力。」