【一周招/中标】上海积塔新增设备招标63台，北方华创新增中标设备11台，ASML新增中标设备3台

集微网消息，本周，上海积塔半导体新增设备招标63台，华虹无锡新增设备招标38台，华虹华力新增设备招标3台，燕东微电子新增设备招标31台；北方华创新增中标设备11台，拓荆科技新增中标设备11台，ASML新增中标设备3台。

重要招标数据：

本周招标146台设备，其中，光刻设备1台，刻蚀设备8台，CVD3台，工艺检测5台，离子注入16台，CMP2台，热处理39台，清洗设备30台，匀胶显影2台，其他设备40台。

重要中标数据：

本周中标54台设备，其中，光刻设备3台，刻蚀设备4台，CVD15台，PVD1台，工艺检测3台，热处理5台，清洗设备4台，涂胶显影1台，其他设备18台。

以下是本周部分招标信息汇总：

以下是本周部分中标信息汇总：