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来源:芯榜+发布时间:2022-04-285771浏览
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华海清科是一家拥有核心自主知识产权的高端半导体设备制造商,主要从事半导体专用设备的研发、生产、销售及技术服务,主要产品为化学机械抛光(CMP)设备。CMP 是先进集成电路制造前道工序、先进封装等环节必需的关键制程工艺,公司所生产 CMP 设备可广泛应用于 12 英寸和 8 英寸的集成电路大生产线,产品总体技术性能已达到国内领先水平。华海清科公司产品已进入部分国际主流集成电路制造商在国内的大生产线,可实现 28nm 及以上成熟制程的产业化应用,高端工艺技术水平 14nm 制程仍处于客户验证阶段。华海清科公司 CMP设备已累计出货 58 台,在手订单 35 台,设备已广泛应用于中芯国际、长江存储、华虹集团、英特尔、长鑫存储、厦门联芯、广州粤芯、上海积塔等国内外先进集成电路制造商的大生产线中。华海清科募资15.1亿,本次发行募集资金扣除发行费用后,将按照项目的轻重缓急分别投资于高端半导体装备(化学机械抛光机)产业化项目、高端半导体装备研发项目、晶圆再生项目:
▲华海清科募资计划
▲华海清科首台12英寸超精密晶圆减薄机正式出货

3、CMP 设备行业的技术发展趋势:CMP 设备在较长时间内不存在技术迭代周期,应用于 28nm 和 14nm 的 CMP 设备没有显著的差异,仅是特定模块技术的优化。CMP工艺由 14nm 持续向 7nm、5nm、3nm 先进制程推进过程中,CMP 技术将不断趋于抛光头分区精细化、工艺控制智能化、清洗单元多能量组合化方向发展,抛光驱动技术、压力调控技术、智能控制系统、终点识别检测系统以及智能清洗模块等关键模块技术将是 CMP 技术未来发展的重要突破方向。4、华海清科CMP技术迭代集成电路行业的发展趋势体现在需求剧增但制程节点迭代放缓,目前全球所有高端芯片制造工艺中,CMP 与光刻、刻蚀、离子注入、薄膜沉积等环节一起广泛应用于先进集成电路制造中,目前最先进 3nm 制程中的平坦化工艺仍仅基于当前的 CMP 方式独立完成,且未来发展趋势 3D IC 工艺也会大量使用 CMP技术,因此目前为止 CMP 技术无被替代的风险。目前量产应用于 14nm 以上制程的 CMP 产品,通过对其抛光模块、后清洗模块、工艺控制模块等关键模块进行结构升级或技术优化便可实现向 14nm 以下制程节点的过渡,并且将通过持续的升级优化进一步向 7nm、5nm、3nm 等更先进制程节点过渡。相关技术存在迭代风险。5、华海清科主要产品演变和技术发展情况
2、前五名客户的名称、销售金额及占营业收入的比例
3、关联交易占比较高的风险报告期内,公司关联销售金额分别为 17.20 万元、12,370.48 万元和 22,902.96万元,占当期营业收入的比例分别为 0.48%、58.65%和 59.35%。其中公司对关联方长江存储和华虹集团的具体销售收入及占比情况如下:

控人为清华大学
据了解,华海清科成立于2013年,由清控创投、康茂怡然、天津财投、科海投资、天津科融出资设立,是一家拥有核心自主知识产权的高端半导体设备制造商,主要从事半导体专用设备的研发、生产、销售及技术服务,主要产品为化学机械抛光(CMP)设备。
截至招股说明书签署日,清控创投持有华海清科37.85%的股权,为公司控股股东。同时,清控创投为清华大学的全资孙公司,因此,清华大学为华海清科的实控人。
据证券时报2020年7月的一篇报道统计,清华大学是14家上市公司大股东,包含11只A股,如辰安科技、紫光学大、启迪古汉等,辰安科技实际控制人为清华大学。
需要指出的是,IPO日报发现,作为实控人,清华大学对华海清科的帮助不小。
先看“清华味浓”的董事会。截至招股说明书签署日,华海清科的董事会共有9名成员构成,其中独立董事3名。具体如下:

董事长路新春存近百条风险
华海清科现任董事长兼首席科学家路新春直接持有的460.2141万股股份存在质押情况,质押权人为清华控股,质押原因系公司间接控股股东清华控股为公司银行贷款提供担保,路新春将上述股份质押作为反担保。
据天眼查显示,公司董事长路新春目前任职9家企业,担任股东8家,担任高管7家,实际控制10家企业。
尤为注意的是,路新春周边风险有7条,预警提醒也有80条。
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2026-06-10