芯片设备供应紧缺 国内业者乘风而上

尽管消费性电子市场需求出现疲软迹象，半导体供应链上游并未受此影响，市场仍旧一片火热。芯片不足问题同样深深困扰设备业者，导致全球晶圆厂更难以在短期内大幅提高产能。

微影设备业者ASML以听闻拆洗衣机芯片来用的案例，强调芯片短缺的严重程度。蚀刻设备业者科林研发(Lam Research)也指出，供应迟滞问题不解，恐怕会影响2022年晶圆厂投资计划的实行。

国内蚀刻设备业者中微也指出，全球半导体供应链紧张趋势至今未看到缓解迹象，公司与其他全球主流设备厂商一样，对设备交期做了适当调整。另外，也与供应商加强沟通，如在了解到部分供应商因零组件短缺导致供应困难后，中微透过自己的供应链来帮忙解决部分问题。同时，由于零组件厂商出货计划不断变动，中微也不断动态调整自身生产计划，以最大程度缩短设备制造周期。

根据市场消息，过去两年因需求旺盛，就连二手半导体设备的价格也狂涨，如微影设备价格翻了一倍，8寸晶圆成熟制程设备价格也升至新品最初销售时的价格水准，有些高端制造设备价格甚至翻了5倍。

一方面设备交期不断拉长，另一方面芯片需求量只增不减，促使国内晶圆厂转将目光投向国内制设备。DIGITIMES Research预期，2022年国内芯片制造业者多数产能都将有所成长。具体来看，包括士兰微、上海积塔、芯恩、粤芯、燕东微电子等IDM业者，以及长江存储、武汉新芯、合肥长鑫等存储器业者的产能规模将持续爬升；中芯国际、华虹集团、合肥晶合等代工业者亦积极扩产，拉高设备资本支出。

业界人士指出，虽然国内本土设备业者在全球市场影响力较小，很难对国际大厂形成竞争压力，但随着贸易壁垒加剧，加上政策支持，国内设备厂有了更大的成长空间，近两年的订单量明显提升。

据北方华创公告，1~2月新签订单超过人民币30亿元，年增幅度逾60%。国内国际招标网数据显示，盛美上海2月中旬公布29台槽式湿法清洗设备与21台电镀铜设备订单，并中标10多台单片清洗设备订单。

万业企业公告，2021年芯片制造设备营收超过人民币2亿元；控股孙公司北京凯世通拟向重要客户出售多台12寸设备，总金额达人民币6.58亿元。另外，上海精测半导体子公司上海精机微，也获得2台明视野(brightfield)检测设备订单。

民生证券分析，国内晶圆厂在3月开启了2022年以来第一次集中采购潮，单月完成设备招标289台，超过1~2月采购数量总和，主要来自华虹无锡12寸产线、福建晋华12寸存储器产线、积塔特殊制程产线共3项扩产计划。当月，拓荆科技、北方华创、盛美上海、华海清科、至纯科技均有设备中标。

责任编辑：舒能翊