【招标】北京大学集成电路学院公开招标等离子体增强原子层沉积设备

集微网消息，近日，北京大学集成电路学院等离子体增强原子层沉积设备采购项目公开招标。

（来源：公开信息）

北京大学集成电路学院现公开招标1套等离子体增强原子层沉积设备，预算为360万元。

据悉，该项目属于国家集成电路产教融合创新平台项目采购设备，用于淀积制备TiN、TaN、W等金属材料，以满足国家重点研发计划项目、国家自然科学基金项目等多项国家级科研项目的实施需求。（校对/小北）