国内首台12英寸晶圆探针台在长春研制成功

来源:百家号发布时间:2020-07-05181浏览

央广网长春7月5日消息（记者刘源源通讯员胡晓琼）中科院长春光机所旗下长春光华微电子设备工程中心有限公司（以下简称“光华微电子”）近日研制成功国内首台商用12英寸全自动晶圆探针台。它是半导体行业重要的检测装备之一，可将不符合要求的芯片参数特性记录下来，提前剔除，大幅度降低制造成本。

目前国际上，探针台技术门槛较高，市场由两家日本公司垄断态。东京电子和东京精密两家公司占据了绝大部分市场份额。我国在探针台研制方面已有多年技术积累，产品以8英寸为主。2015年，光华微电子立项开展12英寸全自动探针台产品研发，先后突破了6项关键技术。今年，光华微电子推出的第一代产品机将在上海展出，并全面推向市场。