52腔MOCVD设备，中微公司再接大单

3月28日，中微公司在其官网宣布，公司全资子公司南昌中微半导体设备有限公司（以下简称“南昌中微”）接到来自江西兆驰半导体有限公司52腔Prismo Unimax®MOCVD设备采购订单，目前，双方已经进行了签约仪式。

据介绍，Prismo UniMax®是中微公司Prismo系列MOCVD设备的最新产品，于2021年6月发布，加工容量可以延伸至生长164片4英寸或72片6英寸晶片，主要用于氮化镓（GaN）基Mini LED外延片量产。Mini LED可被广泛应用于电视、笔记本电脑、平板电脑、桌面显示器、车载显示屏、户外显示屏等终端产品。 

△Source：中微公司

资料显示，中微公司是一家以中国为基地、面向全球的微观加工高端设备公司，开发的离子体刻蚀设备和化学薄膜设备是制造各种微观器件的关键设备。

其中等离子体刻蚀设备已被广泛应用于国际一线客户从65纳米到5纳米及更先进工艺的众多刻蚀应用，同时，其开发的用于LED和功率器件外延片生产的MOCVD设备已在客户生产线上投入量产，目前已在全球氮化镓基LED MOCVD设备市场占据领先地位。

中微公司董事长兼总经理尹志尧介绍，目前，中微公司Prismo UniMax®MOCVD设备订单已超180腔，是继去年12月Prismo UniMax®MOCVD设备订单超100腔以来公司取得的又一次重要突破。