格科微成功引进ASML先进ArF光刻机，助力先进CIS研发

据格科微电子官方信息显示，格科微成功引进ASML先进ArF光刻机，进一步加快公司先进CIS工艺和高阶专利像素的研发速度，并在自有工厂实现批量生产验证，从而极大缩短高端产品从研发到大量供应市场的周期。

格科微表示，目前，公司“12英寸CIS集成电路特色工艺研发与产业化项目”推进迅速。厂房和洁净车间建设已经基本完成，并于2022年2月16日开始主设备的搬入安装。在3月24日，格科半导体再次迎来了建厂重要标志性时刻，整套生产线中的最关键设备——ASML先进ArF光刻机成功搬入。

格科微称，将坚持从Fabless向Fablite转变的经营路线，通过自有工厂为特色工艺的快速研发提供强有力的支持，以不断创新的电路设计、更短的研发周期、更高效的运营体系为客户提供全球一流的图像传感器产品，让世界看到中国的创新。