3个月就「分享」成果 半导体前瞻研发学界扛高压

台湾已经是全球半导体的核心，不但产业链完整，半导体学界的研发阵容也军容浩壮。由於政府提供给学界执行「A时代半导体」计划经费是千万等级，远高於其他研究最高仅数百万元的规模，因此要求最高、最严、审查也最频繁。

台大物理系教授邱雅萍表示，该团队是在执行计划3个月内就交出成果。另外，台积电─台湾大学联合研发中心特聘教授刘致为4个月内就写出论文。成功大学微电子工程研究所特聘教授王永和也是4个月交出技术突破。

刘致为表示，学者做研究不是变魔术，一定是基於过去的成果再创造新的成果，教授们在A时代计划下都是士兵，大家愿意往前冲，但也希望政府能提供充足粮草。担任审查委员的旺宏研发处处长谢光宇表示，学界看好的方向与业界大致相同，不过业界目前并未投入，主要是当前的制程都还用不到这些量测技术和二维材料。

二维材料目前的瓶颈是要做大面积，吴安宇提出转印的方法，至於张文豪则是直接挑战大尺寸，不过张文豪用的基板是黄金，黄金的成本对产业界而言可能是没有办法承接的，未来势必要找其他材料。不过张文豪表示，其采用的是很薄的一层镀金，而且可重覆使用。该团队技术成果会尽可能让业界设备能承接。

谢光宇表示，台大物理系教授朱士维用光学显微镜就能看到50纳米，的确很具突破性，而且不需像电子显微镜所需的真空环境，这对半导体业界是一项重大的跃进。至於清华大学教授陈健群所做的原子级检测，也有其前瞻性。未来产业界一旦遇到产品做不出来，就有必要以原子级的检测来看原子结构、排列组合到底会产生什麽影响。

谢光宇指出，评审会在计划执行满2年做严格审核，如果计划团队无法达标，虽不至於要求团队解散，但主轴计划可能被砍。至於执行不错的子计划可能会核准继续做。而贵重设备则可能移至法人机构保管，开放给各校师生使用。

谢光宇指出，科技部之所以如此严格，主要是这次的经费是前瞻基础建设计划提供的费用，金额很高，须用严格标准检视，让团队定最高目标，尽力而为。计划亮点不在理论研究和发表论文，而是要连结产业需求，做出产业界确实可行的技术。

科技部自然科学与永续研究发展司司长罗梦凡表示，2年後审查委员会检视学界到底有没有达成目标，或是否需要调整研究方向，再核给计划经费。至於学界指3个月、4个月就被找来审查成果，那是教授们的误解，科技部只是要他们来参与活动和分享，并没有要做绩效审查。需接受审查的是执行满1年的团队。

责任编辑：陈至娴