多项产品均获得大单，芯源微2021年净利同比增长58.41%

集微网消息，3月9日晚间，芯源微披露2021年年度报告，该公司2021年度实现营业收入8.29亿元，同比增长151.95%。归属于上市公司股东的净利润7734.95万元，同比增长58.41%。归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润6383.9万元，同比增长395.83%。基本每股收益为0.92元/股。拟每10股派发现金红利3元(含税)。

报告期内，芯源微生产的前道涂胶显影设备获得了多个前道大客户订单及应用，下游客户覆盖逻辑、存储、功率器件及其他特种工艺等多家国内厂商。公司在前道涂胶显影领域，作为国产化设备已逐步得到了应用，实现了小批量替代。公司生产的offline涂胶显影机已实现批量销售，I-line涂胶显影机已经通过部分客户验证并进入量产销售阶段、KrF涂胶显影机已经通过客户ATP验收。随着各项关键技术的突破及工艺验证的稳步推进，公司前道涂胶显影机具备快速实现国产替代的技术实力。

公告显示，芯源微生产的前道Spin Scrubber清洗机设备较为成熟，报告期内通过持续研发进一步提升了工艺性能和设备产能，产品竞争力不断增强，已经达到国际先进水平并成功实现国产替代。2020年已在国内多个重点客户处通过验证。2021年获得中芯国际、上海华力、武汉新芯、厦门士兰集科、扬杰科技、青岛芯恩、上海积塔等国内多家Fab厂商的批量重复订单。

公司生产的后道涂胶显影设备和单片式湿法设备作为主流机型已批量应用于台积电、长电科技、华天科技、通富微电、晶方科技、中芯绍兴、中芯宁波等国内一线大厂，目前已经成为客户端的主力量产设备。公司在后道领域持续开拓新客户，报告期内积极开拓了日月光、矽品科技、盛合晶微等封装客户。公司将在未来加大力度持续开拓中国台湾以及海外市场。

此外，公司生产的小尺寸涂胶显影设备与单片式湿法设备，可覆盖化合物、MEMS、LED等多个领域，目前作为主流机型已批量应用于三安光电、华灿光电、乾照光电、赛微电子、江西兆驰等国内一线大厂，已经成为客户端的主力量产设备。公司作为国内化合物龙头三安光电的主力供应商，在市场开拓中不断延伸，报告期内进一步巩固市场优势地位。

截至报告期末，公司生产的应用于各领域的涂胶显影设备和单片式湿法设备已累计销售1400余台套。

展望2022年，芯源微表示，公司在集成电路制造后道先进封装、LED芯片制造领域深耕多年，凭借持续的技术创新、高性价的产品及优质的售后服务，已建立一定的行业知名度。公司下游客户覆盖国内主要的集成电路制造后道先进封装企业、LED芯片制造领域企业，与包括台积电、长电科技、华天科技、通富微电、晶方科技、华灿光电等在内的多家优质客户保持着长期稳定的合作关系。公司在后道领域持续开拓新客户，报告期内积极开拓了日月光、矽品科技、盛合晶微等封装客户。公司将在未来加大力度持续开拓中国台湾以及海外市场。

在化合物等小尺寸领域，4～6英寸化合物半导体市场正在迅速崛起，MiniLED等新一代显示技术也在趋于成熟，这将成为未来小尺寸领域行业发展的重要驱动力。公司抓紧小尺寸领域的行业发展方向，积极推出适用于新兴领域的半导体设备，公司已有产品在化合物领域、MiniLED产线上批量应用。公司将继续紧跟行业发展趋势，不断推出适应行业新技术的产品，持续推动公司在小尺寸领域市占率的提升。

此外，公司将积极建立海外销售体系，培育和拓展海外市场，提升公司品牌的国际影响力，为公司发展创造新的增长点。

芯源微称，抓住前道发展机遇，加大研发投入，提升产品竞争力。前道芯片生产线的不断扩张和半导体设备国产化的大趋势为国产半导体设备企业的发展创造了历史性的机遇。公司在前道涂胶显影领域，作为国产化设备已逐步得到了应用，实现了小批量替代。在前道物理清洗领域，公司生产的Spin Scrubber设备已获得国内多个客户批量订单，实现了批量销售。接下来，公司还将进一步提升该类设备的技术等级，同时做好下游市场开拓和客户服务，以提升在下游市场的认可度和渗透率，助力我国前道晶圆加工设备国产化率的持续提升。（校对/Arden）