韩国业者成功研发高纯度PGMEA 半导体制程原料本土化缴出成绩

韩国电子零组件制造商Chemtronics成功研发高纯度丙二醇甲醚醋酸酯(PGMEA)，PGMEA作为半导体极紫外光(EUV)制程光阻剂(PR)的必须原料之一，韩国主要透过海外进口。如今成功研发低有害物质、高纯度的PGMEA，Chemtronics为了实现量产将扩大投资相关设备。

据韩媒ET News报导，Chemtronics日前宣布成功研发半导体及显示器制造的核心溶剂PGMEA，并达成99.999%、5N级的业界最高纯度。值得注意的是，Chemtronics研发之PGMEA将对人体有害的β异构物(beta-isomer)含量，大幅减少至1ppm以下。目前在市面上流通的PGMEA，β异构物含量约为100~300 ppm。

PGMEA为半导体曝光工程所需的光阻剂中，占70~80%的主要原料，不过韩国长期以来主要仰赖自国内大陆、日本等国进口。Chemtronics预期，本次研发的PGMEA将有助於控制光阻剂瑕疵产生，同时促进客户进行EUV光阻剂的研发。

此外，因应国际业者要求将有害物质β异构物含量降至10ppm以下，Chemtronics正式投入研究开发与设备投资，时隔3年後成功研发β异构物含量不到1ppm的环保PGMEA。目前Chemtronics已开始申请PGMEA高纯度技术、异构物除去技术等相关专利。

据悉，Chemtronics为了使高纯度、环保PGMEA实现量产，计划於2022年投资200亿韩元(约1,673万美元)，设置量产产线。事实上，此前Chemtronics已於2020年增设PGMEA提取设备，将半导体制程用PGMEA视为新的成长动力。Chemtronics预期，随着PGMEA的产能扩大，将有助於改善韩国2,400亿韩元规模PGMEA的海外依存度。

继成功研发PGMEA後，Chemtronics预计不仅在半导体，也将投入显示器制程原料韩国本土化，持续扩大事业版图。Chemtronics指出，从ESG经营的角度来看，本次研发高纯度产品及去除有害物质的技术，将有助於改变大部分产业对於环保材料的认识。

责任编辑：张兴民