ASML估柏林厂火灾影响2022年生产有限

ASML位于德国柏林的工厂于月初传出火灾事故，随后关闭受灾厂区，外界担忧可能冲击微影设备出货，在芯片产能普遍不足的当下，进一步拖慢晶圆厂扩产计划。但ASML经数日调查后对外表示，预期事故对于2022年的生产影响有限。

据路透（Reuters）报导，ASML最新聲明透露，火灾造成的整体损害非常有限，虽然有1栋建筑部分受损，烟也波及另外一栋建物，但这些建物中部分区域的产线已经恢复运作。至于园区中其他建物则未曾受到影响，目前也全力运转中。

针对深紫外光（DUV）设备，ASML表示，虽然火灾影响部分零件供应，但预期可透过补救措施，保持产出计划与营收不受影响。

至于最先进的极紫外光（EUV）设备部分，ASML透露，火灾影响部分晶圆夹具（wafer clamp）的生产区域，ASML目前还在推行复原措施，并针对产出计划与现场服务（field service）两部分，也正在寻找方法，将对于EUV客户的任何可能冲击降至最低。

ASML进一步表明，会在1月19日再次对外更新火灾相关信息，以及事故对于2021年第4季营运表现的可能影响。

责任编辑：张兴民