英诺赛科成功导入ASML光刻机！

12月8日消息，英诺赛科（珠海）科技有限公司（以下简称“英诺赛科”）为ASML光刻机成功导入8英寸硅基氮化镓量产线举办了庆典。

英诺赛科于2021年引入ASML光刻机，凭借着其卓越的成像性能和独特的TWINSCAN架构（双晶圆工件平台），英诺赛科进一步提升了硅基氮化镓功率器件制造的产能及产线良率。

英诺赛科首席执行官孙在亨表示，公司在今年第二季度引进了ASML光刻机，改善了光刻工艺窗口，进一步提高了产能和产线良率，带来了可观的成本效益。在设备入驻后，双方技术团队密切合作，通过现场验证和快速迭代，技术挑战迎刃而解，在短短三个月内实现试生产，最终在10月进入正式量产阶段。通过与半导体设备领跑者ASML的合作，加快了英诺赛科产品推向市场的速度，助力了氮化镓半导体的蓬勃发展。

来源：OFweek

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