美国相干公司推新款Monaco紫外飞秒激光器 可靠性更高

据悉，美国相干公司新推出的Coherent Monaco紫外飞秒激光器，具有极佳的能量稳定性以及最小的热影响区（HAZ），可在微电子领域实现高通量、高精度的切割、划线和钻孔等。这种特性，使得该激光器适用于OLED切割、晶圆切割、薄聚合物薄膜和薄膜的切割、柔性电路和低介电常数材料的加工等。

虽然UV（345 nm）飞秒激光器比其他超短脉冲激光器具有更低的热影响区，但由于其可靠性无法令人满意，它们在工业市场的部署速度已经放慢。相比之下，Monaco紫外飞秒激光器则采用了相干公司其他高可靠性超快和紫外激光器中采用的严格的HALT / HASS设计、制造和测试方法。它是第一款可以将热影响区降低3倍以上的紫外飞秒激光器，同时提供了相干公司标志性的工业级可靠性。

除了出色的可靠性外，Coherent Monaco紫外飞秒激光器的输出还经过专门设计，可提供脉冲能量和重复率（脉冲重复频率为1.25 MHz时，周期为20μJ/脉冲）的最佳组合，最适合常用材料的烧蚀阈值。这使其能够提高产量，同时还能提供比其他激光器更低的每瓦成本。而且，该单片式Monaco紫外飞秒激光器也是最紧凑（长度为963 mm，宽度为358 mm，高度为175 mm）的工业级飞秒紫外解决方案，简化了系统构建商的集成工序。

此外，Monaco紫外飞秒激光器还采用了与Monaco系列其他产品相同的强大软件界面，使系统集成商和最终用户可以轻松的使用该新型激光器。