MKS亮相光博会：重磅推出小体积、大能量紫外激光器

2021年3月17日至3月19日，一年一度的慕尼黑上海光博会如约而至。作为光电行业中极具盛名的大型展会，吸引了来自全球的众多知名企业参展。在本届慕尼黑上海光博会上，MKS中国区应用经理侯东超接受了OFweek激光网的采访，在采访过程中，就MKS的相关产品、技术和发展方向进行了讲解。

MKS集团主要分为三个事业部，分别是V＆A真空与分析事业部，L＆M光与运动控制事业部，E＆S设备与解决方案事业部。其中，L＆M光与运动控制事业部，下属有三个主要品牌，分别是Newport，Spectra－Physics， Ophir。Newport主要涉及光学元件，光机械，光测量与控制设备，隔振平台，以及精密运动控制产品；Spectra－Physics是全球著名的超快激光品牌，涵盖工业和科研市场应用；Ophir业务有两个部分组成，光测量和分析设备，及红外光学元件和相机类产品。

本次慕尼黑上海光博会上，MKS旗下Spectra－Physics重磅推出了世界上体积最小、单脉冲能量大于200 μJ的主动Q开关紫外激光器。这是一款新型高能紫外（UV）激光器，其脉冲能量是目前Explorer One HP系列超小型主动Q开关激光器的3.5倍。据悉，这款新型激光器的脉冲能量大于200 μJ，平均功率大于4 W，脉宽小于15 ns，可调节的重复率从单次到200 kHz不等，并具有动态闭环脉冲能量控制功能。

侯东超介绍说：“这款产品在超紧凑的尺寸下集合了强大功能和精密控制，非常合适精密制造工业，是显示器和光伏薄膜烧蚀成型、微电阻和电容器调整以及医疗设备、塑料和玻璃高对比度标记的理想选择。该款激光器采用It＇s in the Box™设计，即将电子元件和激光腔体组合在一个轻量级封装中，可快速、直接地集成到紧凑型工具和台式仪器上。可靠的Explorer One计算机平台，保证了该激光器可以在恶劣的作业环境中全天运作。”

此外，Spectra－Physics还带来IceFyre 355－50 皮秒紫外激光器和Spirit 1030－140飞秒激光器。IceFyre 355－50 皮秒紫外激光器脉冲宽度＜12 ps （10 ps typical），最高输出功率＞50W，最大单脉冲能量＞40uJ，最高重频10MHz，支持TimeShift可编辑脉冲串技术，可用于OLED加工等应用；Spirit 1030－140飞秒激光器中心波长为1030nm，最高输出功率＞140W，最大单脉冲能量＞600uJ，最高重频30MHz，并支持脉冲串技术，其高脉冲能量高重频的飞秒脉冲使最具挑战的加工应用成为可能。另外，还展出了光谱物理目前在市场上应用广泛的Talon纳秒激光器，SPFL光纤激光器，以及科研领域的多款飞秒振荡器、放大器，及量子科学领域的超窄线宽激光器产品。

除超快激光器外，MKS展台还展出了Newport品牌的半导体晶圆检测、MicroLED修复、光通信精密对准相关的解决方案、Surround the Workpiece®全套解决方案等。据悉，Surround the Workpiece®是MKS在完整宽泛的产品种类和专业技术基础上提供的一套整体解决方案，包括光学系统中激光的产生、控制、测量过程中的产品设计和开发，系统集成，子系统和组件选择，维护，维修和校准服务，基于此为客户提供全面的解决方案以及售前售后服务和支持。市场应用覆盖从科研到工业应用中的光学系统和子系统。

MKS旗下的Newport品牌是全球先进的隔振光学平台产品供应商，拥有超过50年的光学隔振平台设计和生产经验，是世界主要的大学和研究机构可以看到Newport光学平台产品的身影，为前沿科学研究提供了重要保障。我们提供多种系列光学隔振平台标准产品，同时也提供定制化服务。

Newport品牌还提供丰富的光学元件产品，涉及反射镜、透镜、波片、偏振片、滤片、光栅等几乎所有方面的光学类元件。网站支持在线选型，方便查找正确的产品。另外，我们定制化的滤片和光栅产品，在医疗设备、分析仪器市场中占据重要份额。同时，Newport品牌下有种类广泛的光机械件、光夹具，配合光学元件使用。我们在这类产品中积累了长期的经验，针对不同的应用场景，从功能性、易用性、长期稳定性、产品体积等多个方面进行专门的设计，为应用提供最佳的元件夹持和调整方案。