炬光科技荣获“维科杯”OFweek2021年度激光行业精密激光设备技术创新奖

“OFweek2021（第十八届）先进激光技术应用峰会暨“维科杯”年度评选颁奖典礼”将于2021年9月24日在深圳福田大中华喜来登酒店6F汉厅召开。今年评选共设立9大奖项，本着“公平、公正、公开”的原则，主办方投入了大量的时间和精力，经过数月的紧张评选，最终评选出40个奖项。

其中，西安炬光科技股份有限公司凭借其DLight S半导体集成电路晶圆退火系统，一举斩获“维科杯”OFweek2021年度激光行业精密激光设备技术创新奖。

炬光科技产品图

炬光科技推出的DLight S系列半导体集成电路晶圆退火系统，主要应用在半导体前道工序中，完成动态表面退火（DSA）和激光尖峰退火（LSA）两种加工工艺，打破了此类激光设备国外公司的垄断，填补了国内相关产品的空白。

该产品设计应用和创新的关键点在于：结合产生光子的共晶键合技术、激光光源热管理技术、热应力控制技术以及调控光子的激光光束转换技术和光场匀化技术，生产一条长宽比达160：1的近红外波段极窄线光斑，并在光斑长度方向达到＞95％的能量均匀性和＞98％的能量稳定性。

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