不止洁净机器人，新松真空机械手也已进入芯片制造生产环节

OFweek机器人网近日了解到，新松机器人生产的真空机械手已经开始在芯片生产制作环节中得到应用，主要客户包括北方华创、中微半导体等。

半导体产业对工业机器人的需求越来越多，主要有驱动型机器人、组装和搬运型机器人等，不过这一领域长期被头部企业所把持，尤其是ABB、发那科、川崎重工、安川电机和库卡5家公司。

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在应用上，我国与美日制造强国也存在较大差距。以2019年半导体产业洁净室机器人的采用情况为例。

2019年，欧洲洁净室机器人装机量为201台，位列第七名；中国台湾虽然拥有台积电等世界级巨头，不过总量上仅以990台装机量位列第六；第五、第四名分别为韩国、新加坡，2019年总装机量分别为1089台、1157台。

受美国禁令影响，位列第三的中国大陆总装机量为1194台，较2018年的1735台下滑了45.3%。

美国制造业虽然外迁，但在半导体制造领域仍引领风骚，2019年洁净室机器人总装机量为2321台。

排名第一的是日本，2019年累积装机量为9279台（含日本厂商海外销售），比后6名的总装机量之和还要多。

需要特别说明的是，日本的装机量设备基本都是由日本企业所提供的，主要供应商有川崎重工（KAWASAKI）、安川电机（YASKAWA）、DAIHEN、乐孜（RORZE）等。

在这方面，我国本土企业相对来说要落后许多。

为改变这一局面，以新松为代表的本土机器人企业早早就开始布局半导体领域机器人解决方案。

至2020年，新松在寻求从半导体设备供应商向半导体系统解决方案供应商转变上又跨出了一大步，已经具备洁净机器人系列产品、EFEM、Stocker、Mask搬运系统的供应能力，尤其是洁净机器人已经形成系列化产品，广泛应用于IC装备、电子、平板显示、生物制药等行业，EFEM产品也占据了国内市场主导地位，新松凭此成为本土唯一一家洁净机器人供应商。

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早在2020年4月，新松研发的IC真空驱动机械手已经取得了小批量销售突破，目前已成功在北方华创、中微半导体等本土半导体设备制造企业中率先得到应用；自主研发的中国首套柔性OLED机器人成功交付使用，为国产机器人首次进入高端柔性屏幕生产线；AMHS系统也凭借过硬的硬件和控制系统技术，开始征伐世界各主要半导体工厂。

在此需要特别说明的是，北方华创和中微半导体均是本土半导体设备制造商，其中北方华创主营半导体装备、真空装备、新能源锂电装备及精密元器件业务；IC设备领域覆盖刻蚀机、PVD、CVD、炉管、清洗等多个大类，除光刻机以外几乎涵盖所有的IC制造设备，已成为我国高端半导体设备龙头企业。

而中微半导体则是我国在半导体领域设备制造细分领域代表，是全球蚀刻机顶尖制造商，其对标的是应用材料、泛林、东京电子等国际巨头。也正因为中微半导体的存在，蚀刻机至今没有被美国限制进口，并为台积电等顶级芯片制造商所采购。目前中微半导体已经完成了从65nm蚀刻机到5nm的巨大进步，接下来将攻坚3nm蚀刻机，这已是目前人类所能批量生产的半导体工艺制程极限。

新松IC真空驱动机械手成为这两家芯片设备制造商的上游供应商，侧面反映了新松相关产品的技术实力，有利于我国半导体芯片高端制造装备的国产化。