【成员风采】祝贺德国弗莱贝格仪器再获碳化硅三大巨头单晶定向千万欧元大单

图1 与Freiberg Instruments 合作的多家硅/碳化硅供应商

除了晶体定向，Omega-scan XRD还可添加二维(X-Y)或三维mapping扫描，以及全自动化的摇摆曲线测量，使其成为单晶制造商质量控制环节中一个重要组成部分。可检测处理的材料包括Si, SiC, GaAs，蓝宝石，LiNbO3，压电单晶，等90多种材料，兼容的样品类型包括晶锭，晶圆片，晶棒，晶柱和其他形式的晶体。

我公司为目前海外市场极具竞争力的SiC定向设备的供应商，XRD产品能在生产环境下24小时运行，包括了在线和离线设备，以及连接上下游的转移夹持器，可轻松将精确定向的样品转移到下游工艺，如：磨床打磨，线切及分选。我们给海外龙头企业定制化了多套全自动及半自动定向解决方案，以期推动该行业的技术革新。

      目前SiC市场大多面临长晶慢，生产效率低下的问题，Freiberg Instruments公司为此设计了晶锭堆垛附件，可使生长缓慢的SiC晶锭堆垛粘接在一起并在线切机上进行切割，同时还能保证高精度，这也是国外龙头企业选择我公司产品的重要原因。

图4 Omega-scan XRD堆垛粘接转移附件

型号

特点

Omega/Theta X射线定向仪

用于超高速晶体定向和摇摆曲线测量

适用于晶圆片，晶锭的测量，可对样品进行堆叠

XRD-OEM

XRD OEM 在线X射线衍射仪

在线测试工具，完全自动化的测量和处理多晶硅，晶球或晶体板。

DDCOM

DDCOM 台式晶体定向仪

采用Omega扫描方法的超高速晶体定位测量，台式X射线晶体定位测量衍射仪(DDCOM)是一种自动工具，用于确定各种晶体的取向。

SDCOM

SDCOM 台式小晶体样品定向仪

采用Omega扫描方法的超高速晶体取向测量，智能X射线晶体定位测量衍射仪(SDCOM)特别为小晶体设计。

Quatrz XRD

Quatrz XRD 石英晶体管衍射仪

利用x射线衍射仪对石英棒、硅片和坯料进行生产质量控制。

l 每天可处理4000个样品

l 样品尺寸为3″-8″晶圆片

l 缺口/平面光学检测

l 3个样品仓(可选5个)

l 支持单晶圆片

l 精度0. 003°

l 支持MES系统SECS/GEM或类似系统

在线定向设备XRD-OEM

      很多大型硅片供应商在研磨线切工艺流程中加工设备和定向测量是分开的，样品转移会引起定向误差。Freiberg Instruments由此研发了XRD-OEM模块，可集成到磨床内，解决了定向误差问题，保证了后续工艺的精准性。