吉时利源表在电子薄膜材料的应用

概述：

某一维线性尺度远远小于它的其他二维尺度的材料成为薄膜材料，理论上薄膜材料厚度介于单原子到几毫米，但由于厚度小于100nm的薄膜已经被称为二维材料，因此薄膜材料通常指厚度介于微米到毫米的薄金属或有机物层。

薄膜材料可以分为非电子薄膜材料和电子薄膜材料，非电子薄膜材料需要对其电学特性进行分析，不是本方案针对的对象。电子薄膜又可以分为导电薄膜，介质薄膜，半导体薄膜，电阻薄膜，磁性薄膜，压电薄膜，光电薄膜，热电薄膜，超导薄膜等，表面电阻率是电子薄膜电学性质的重要参数。

电子薄膜材料表面电阻测试：

表面电阻率测试常用方法是四探针法和范德堡法，但对电子薄膜材料，范德堡法很少应用。多数情况下，电子薄膜材料电阻率测试对测试仪器的要求没有二维材料/石墨烯材料高，用源表加探针台即可手动或编写软件自动完成测试。

电子薄膜材料电阻率测试面临的挑战：

●电子薄膜种类多，电阻率特性不同

需选择适合的SMU进行测试

●被测样品形状复杂，需选择适当的修正参数

厚度修正系数对测试结果的营销F（W/S）

原片直径修正系数对测试结果的营销

温度修正系数对测试结果的影响

●环境对测试结果有影响

利用电流换向测试消除热电势误差

●利用多次平均提高测试精度

需考虑测试成本

吉时利电子薄膜材料测试方案：

1、 通用配置

a.吉时利源表2450/2460/2461

b.四探针台（间距1mm）

c.测试软件（安泰测试系统集成可开发）

2、高阻电子薄膜材料测试方案

a.6221/2182A+6514X2+2000DMM

b.第三方探针台

c.手动或软件编程

方案优势：

1、 不同配置满足不同电子薄膜材料电阻率测试需求

2、 高精度源表，即可手动测试，也可以编程自动测试

3、 高性价比

吉时利源表作为电学测量的常用仪器，在高校和研究所的相关实验室内几乎都能看到，源表集多表合一、配上专业软件可以实现各种定制测量，使用非常广泛。