北京首条MEMS芯片生产线投产

记者近日从经开区获悉，亦庄企业赛微电子公司控股子公司投资建设的“8英寸MEMS国际代工线建设项目”正式通线投产运行，产能为1万片/月。这也标志着北京首条商业量产、全球业界最先进的8英寸MEMS芯片生产线进入实际生产阶段。据了解，该项目分期建设，最终完全达产后将形成3万片/月的生产能力。

“大家熟悉的生产线侧重二维空间，不断让芯片变得更小；而MEMS属于集成电路特色工艺，聚焦的是三维空间，芯片内部结构也缩小至纳米量级，格外考验芯片制造实力。”赛微电子董事长杨云春介绍。微机电系统（MEMS）是指用微机械加工技术制作的包括微传感器、微致动器、微能源等微机械基本部分，以及高性能的电子集成线路组成的微机电器件与装置。

业内认为，MEMS传感器作为国际竞争战略的重要标志性产业，以其技术难度高、特色工艺性强，市场前景广阔等特点备受世界各国的关注。基于对市场需求前景及国内产业链现状的判断，赛微电子在经开区、相关基金等多方支持下，于2016年全资收购瑞典Silex。

“这代生产线是复刻了瑞典Silex的生产线，1万片的产能大概能贡献约8亿元营收，同时对净利润也将有积极贡献。”赛微电子董事、副总兼董秘张阿斌表示。

进入5G时代，下游的人工智能、万物互联等对传感器的需求将迎来井喷式的增长。MEMS传感器能够以集成电路的方式来生产，将进一步推动传感器革命，并大幅降低成本。

“目前这个行业的主要矛盾就是合格产能供应不足，根据对市场需求的判断，公司计划在未来继续扩充的第四条、第五条生产线也会快速跟进，目前在做的定增就是为后面的积极扩产筹集资金。”张阿斌表示。

记者获悉，新生产线投产后，赛微电子将同时在瑞典和中国两地拥有8英寸MEMS生产线。经开区方面透露，而北京生产线更是可以提供标准化规模产能，有利于该公司进一步拓展全球市场尤其是亚洲市场，并继续扩大MEMS业务的竞争优势。这条生产线还会带动经开区新一代信息技术产业上下游各方合力攻克自主技术难关。

“投产的北京8英寸MEMS国际代工线对标瑞典Silex的设置，配置、原材料和工艺等一一对应，确保工艺流程及产品生产的一致性。”杨云春说，瑞典Silex掌握了硅通孔、晶圆键合、深反应离子刻蚀等多项在业内具备国际领先竞争力的工艺技术和工艺模块，拥有目前业界最先进的硅通孔绝缘层工艺平台，具有400余项工艺开发经验，生产过超过数十万片晶圆、100多种不同的产品。

经开区相关负责人介绍，经开区作为全国集成电路产业聚集度最高、技术水平最先进的区域之一，现已形成以中芯国际、北方华创为龙头，包括设计、晶圆制造、封装测试、装备、零部件及材料等完备的集成电路产业链，一批代表企业及研究机构承接了系列国家重大科技专项任务，在关键装备及材料、先进工艺开发及产业化等方面取得一批代表国家最高水平的成果。

数据显示，1至8月经开区新一代信息技术产业完成产值同比增长11%。在发布的《北京经济技术开发区关于加快四大主导产业发展的实施意见》中提出，北京经开区还将大力发展集成电路、新型显示等新兴产业，巩固提升高精尖产业集聚效应，加快实现高精尖核心技术突破，打造具有全球影响力的新一代信息技术产业集群。到2022年，新一代信息技术产值规模达到2000亿元。