晶州装备｜湿制程工艺设备即将批量进入客户LTPO新型显示产线

LTPO 英文全称为 Low Temperature Polycrystalline Oxide，中文名低温多晶氧化物，是OLED屏幕上TFT背板的一种技术解决方案，被称为下一代屏幕材料。

一加9系列成为首批采用LTPO技术的国产手机之一

此次客户将LTPO新型技术产线的量产设备订单交给晶洲，既是对晶洲多年来坚持自主研发路线，推进湿制程装备国产化成果的肯定，也是对晶洲在新型显示技术方面钻研探索、开拓创新能力的高度认可。

十年来，晶洲围绕湿制程核心技术，在泛半导体行业深耕厚植，开拓部署，攻克了众多“卡脖子”技术。从清洗到显影、刻蚀、剥离、蒸镀的一系列平板显示领域主工艺设备成功交付终端，已交付量产设备基板尺寸涵盖G2.5~G8.6，并储备了G10.5以上尺寸设备的技术能力，全面打破了国外进口设备商对平板显示领域Array、OLED、Cell、CF等前中段主工艺设备的垄断。

打破垄断，追平主流仅是开始，突破桎梏，开拓创新才能勇立潮头。近三年来，为了把握时代机遇，晶洲装备在HIAA、LTPO、Mini BLU等潮流前沿的新型显示技术方面钻研探索、抢占潮头，取得了一系列的突破及成果。截止目前，晶洲湿制程工艺装备已成功应用于包括荣耀、小米、中兴等旗舰机智慧显示屏幕解决方案中。

那么，具体什么是LTPO？

目前OLED的主要两大背板技术是LTPS和IGZO，LTPS是目前最成熟、应用最广泛的小尺寸OLED基板技术，其具备较高的载流子迁移率，可以有效减小电路尺寸，实现较高的分辨率和较低的驱动电压，能够较好应对高刷新率场景。但其漏电流较大，信号保持时间短，难以应对低刷新率场景。

而IGZO是另一种可以用于OLED的基板技术，漏电流比LTPS低几个数量级，信号保持时间较长，但电子迁移率相对LTPS要低，且氧化物半导体本身稳定性稍显不足，因此在小尺寸OLED上应用不及LTPS广泛。

TFT种类

a-Si

IGZO

LTPS

载流子迁移率

cm2/(V·s)

0.5~1

10~25

＞100

漏电流

A/μm

＜10-13

＜10-16

＜10-12

开关电流比率

106

107

＞109

三种传统OLED TFT技术的对比

顶栅型LTPO：先制作LTPS TFT后制作Oxide TFT，两种TFT独立性较高，便于分别调试

底栅型LTPO：OxideTFT栅极绝缘层与LTPS TFT的ILD层共用，简化工艺流程，但二者会相互影响，增加工艺调试难度，或也可制作共面的顶栅结构