机台交期延 DRAM厂制程微缩绊脚石

2010年台DRAM厂将决战50和40奈米制程技术，但新制程关键恐未必在技术上，而在于浸润式微显影(Immersion Scanner)机台设备采购是否能跟上脚步，近期业界传出瑞晶机台原本2月要交货，但目前交期已递延至4月，南亚科和华亚科之前亦传出机台交货不及，公司则澄清前期机台已顺利拉进来，转换制程进度一切正常。

DRAM厂决战50和40奈米制程技术最大挑战是资金问题，其中，机台购置成本占相当大比重，由于1台机台设备动辄要价新台币10亿元，且每台机器产能约仅1万片，若1座产能达10万片的12寸晶圆厂要转换制程，光是机台支出便高达 100亿元，因此，大部分DRAM厂2009年都无力转进50奈米制程。

随著DRAM景气逐渐复苏，各厂开始为转进50奈米制程做准备，并针对机台下订单，由于从下订到交货需要很久时间，日前甚至传出三星电子(SamsungElectronics)将设备厂机台产能都包下，使得其它DRAM厂很难订到货，趁机阻碍竞争对手制程微缩进度，尽管台厂与国际大厂联合采购机台较具优势，象是南亚科、华亚科与美光(Micron)共同采购，力晶、瑞晶则与尔必达(Elpida)一起采购，但仍不断传出交期递延消息。

瑞晶原本2月要到货的机台已递延至4月交货，其计划第2季将导入45奈米制程;之前则传出南亚科和华亚科机台交期延后，但公司澄清前期机台到货时程顺利，只剩下后期机台还未进来，但不会影响转换50奈米制程速度。事实上，瑞晶原评估旗下8万片12寸晶圆产能转进50奈米制程需要10台机台，但若转入45奈米制程，在减少光罩数后，只需要6台机台，公司形容这是穷人版制程微缩产品。

尔必达阵营原本2009年评估要导入50奈米制程时，就预定机台设备，但后来决定跳过50奈米，直攻45奈米制程，机台拉货则同步进行。尔必达和力晶、瑞晶2010年将一举转进45奈米制程，尔必达45奈米2009 年底宣布量产，瑞晶将在第2季导入生产，2010年底前8万片产能全数转进45奈米制程，第1季会先转2万片产能到63奈米XS版本试水温，成本可较目前 65奈米制程减少20%。

至于南亚科和华亚科正积极转进50奈米制程，在42奈米制程则将提前1季导入，其系由美光和南亚科共同研发，该阵营对于42奈米制程相当具信心，认为是目前40奈米制程世代成本竞争力最佳者。