MEMS技术打造强大先进的微型智能系统

大家很多人还没有注意到，小型设备已经为大家每日应用的专用工具供应驱动力，从感知大家周边世间的感应器到传送解决消息的导航和通信系统，都有他们的影子。

如运用无线通信信号接收器的GPS导航，一般由手机陀螺仪，加速度传感器，磁力计和气压传感器构成的惯性导航系统系统(INS)来提高。根据感应器，导航电子产品能够确认其位置，方位及其在区域中的运动方式。

这种微小而又影响力的解决方式被称作微机电系统，通称MEMS，也称之为微系统技术。

MEMS是通过机械设备方式实现指定作用而制造的微型化构造和机器设备。尽管很多MEMS选用类似集成电路的批量生产加工技术实现生产和封裝，但主要的区别取决于他们有与周边环境互动交流的运动或动态性构件。当需要精度，功耗低实际操作和紧凑型的外型尺寸时，会采用不一样的MEMS技术设计。

MEMS系统被设计为具备感知，响应和以你选影响环境的能力。做为一个完整系统的一部分，它们意义非凡。

MEMS在众多应用中的使用，如传感、检测、执行和其他需求小尺寸性能和精度的物理技术。在多数的行业市场上也可以找到,如工业、医疗、航空航天和国防等。他们的未来尺寸可以从几微米到几毫米不等。下面就来说说MEMS的几个应用实例。

控制气体或液体的微阀，如在实验室芯片诊断中的应用。

成像系统中，学开关和镜面可用于改变光束的方向或调剂光束。

显示中，独立控制的微镜整列。

微谐振器，限制光线，如光谱仪或其他光学传感器。

微泵以产生正的液体压力，如医用输液泵。

MEMS运用能够采取不同的基本技术，包括压阻，压电，微流体，光调制，热膨胀或其它办法来响应系统的输入。

因为MEMS技术设计涉及到电力电子技术，结构力学和光学，这种技术的工程和制造是相对高度跨学科的，并运用不同的专业技能。应用MEMS技术设计一个元器件，除了需要电子器件生产制造和机械加工工艺外，还需要电子器件和机械自动化，材料科学，化学，流体学，电子光学和射频设计方面的专业知识。

如今，MEMS早已被大量运用，且实现了稳定的批量生产。

MEMS的未来是什么?

MEMS技术的不断自主创新为很多销售市场提供了革命性的技术，从适用自主车子和感知智能机器人的毫激光雷达系统，到下一代电信网天线中的可转为波束成形相控阵，及其用以通讯，导航，金融业和云计算的芯片级原子钟。

工程和研究领域的前沿权威专家已经用新的和复杂的方式开拓道路，将来有可能更改大家的日常生活方式。