设备｜至纯科技引入4.2亿元战投！以扩大湿法设备生产

丝毫不受减持半导体龙头的影响，国家集成电路产业投资基金股份有限公司(简称“大基金”)二期马不停蹄地再次布局半导体领域。

10月18日晚间，至纯科技公告，公司控股子公司至微半导体(上海)有限公司(简称“至微科技”)拟通过增资扩股引入战略投资者并进行部分股权转让。

根据公告，本次新引入的战略投资者共有8家，合计向至微科技增资4.2亿元。其中就包括大基金二期，其余增资方也均来头不小。

10月19日，至纯科技方面回应媒体称，本次引入战投主要是以扩大湿法设备生产为主，目前的计划是5年200台。

至纯科技有何过人之处，引来大基金二期的青睐？据了解，大基金虽然时有减持计划流出，但并未整体退出半导体领域，而是做了结构性的调整，尤其是转移到上游急缺资金卡脖子的制造和代工、设备等领域。那么，大基金目前在后者的布局如何？

至纯科技是何方神圣？

根据公告，至微科技本次拟引入投资方包括：远致星火、大基金二期、混改基金、中芯聚源、装备材料基金、芯鑫鼎橡、平潭溥博芯诚股权投资合伙企业（有限合伙）、上海芯晟至远企业管理合伙企业（有限合伙），合计向至微科技增资4.2亿元，其中7644万元计入注册资本，其余34356万元计入资本公积。

本次增资前，至微科技注册资本为4.55亿元，估值25亿元（增值率485.36%），对应5.4945元/注册资本。增资后，至纯科技持有至微科技的股份由99.34%降至77.11%；大基金二期、混改基金、中芯聚源、装备材料基金、芯鑫鼎橡分别持有3.42%、3.42%、1.71%、1.03%、1.03%的股权。

按上述比例测算，大基金二期、混改基金、中芯聚源、装备材料基金的投资金额分别为1亿元、1亿元、5000万元、3000万元。

加速布局半导体设备领域

目前半导体设备本土生产上升到国家战略层面，半导体设备也被公认为最“卡脖子”的环节之一。

就工艺而言，清洗是贯穿半导体产业链的重要工艺环节，每一代制程升级将带来平均15%的清洗步骤增长，重要性凸显。据台湾工研院数据，2020年半导体清洗设备市场空间49亿美元，2025年将达67亿美元。当前全球清洗设备市场由日韩巨头垄断，2018年，DNS、TEL、SEMES、Lam四家厂商占据了90%以上的市场份额。

根据信达证券的研报，国内有至纯、北方华创、盛美、芯源微四家厂商重点布局，当前湿法清洗设备国产化率约达20%。

公告显示，至纯科技已具备生产8-12寸高阶单晶圆湿法清洗设备和槽式湿法清洗设备的相关技术，目前已可以提供28nm节点的全部湿法工艺设备，首批次单片湿法设备已交付并顺利通过验证。

作为半导体清洗设备的重点厂商之一，至纯科技受到顶级产业基金的青睐也就不足为奇。