大基金二期再出手

大基金又出新动向了，不过这次并非减持。

10月18日，至纯科技发布公告表示，上海至纯洁净系统科技股份有限公司控股子公司至微半导体（上海）有限公司拟通过增资扩股引入战略投资者并进行部分股权转让。其中大基金二期和混改基金成为至微科技股东。

来源：至纯科技公告

根据公告，本次交易前，至微科技注册资本为4.55亿元，依据增资前至微科技25亿元的估值，对应5.4945元/注册资本，本次远致星火、大基金二期、混改基金、中芯聚源、装备材料基金、芯鑫鼎橡、平潭溥博芯诚股权投资合伙企业（有限合伙）、上海芯晟至远企业管理合伙企业（有限合伙）合计向至微科技增资4.2亿元，其中7644万元计入注册资本，其余3.44亿元计入资本公积。

至纯科技表示，至微科技是承载公司重要战略决策“从工艺装备支持系统到工艺装备”、投入湿法设备研发和产业化的主体。至微科技成立以来，完成了系列化产品的研发、制造和销售，累计已获得来自各大集成电路制造领先企业的湿法设备订单超过160 台，成为国内湿法设备的主要供应商之一。

而清洗制程是集成电路芯片制造的关键工艺，是集成电路工艺中重复次数最多的工艺，对良率有着重要影响。目前清洗工艺主要包括湿法和干法两大类，其中湿法用途更广，包括光刻胶去胶剥离及清洗、CMP后清洗、刻蚀后清洗以及薄膜沉积后清洗等清洗工艺。

2020年，至纯科技湿法设备出货量超过30台，新增订单5.3亿元，增长211.8%。

7月，至纯科技曾表示，公司28nm节点全部湿法工艺设备已认证完毕。分析人士预计，其14nm、7nm工艺2022年可供客户验证，客户包括中芯国际、华虹集团、长鑫存储、华为等。