【成员风采】安永6-8寸碳化硅专用金刚线多线线切机运抵中国

安永6-8寸碳化硅专用金刚线多线线切机

近日，株式会社安永（以下：安永）与吉永商事株式会社（以下：吉永商事）及芯茂（嘉兴）半导体科技有限公司（以下：芯茂科技），达成三方战略合作。以吉永商事为窗口，将日本安永的6-8寸碳化硅专用金刚线多线线切设备运至中国，为中国碳化硅衬底客户提供实机展示、样品加工、操作及维修培训等服务。芯茂科技将提供样机放置场地及技术支持。

战略合作概要

日本安永公司的碳化硅金刚线多线切割机得到 日本广大客户的验证和认可，为了进一步开拓中国市场，安永公司将在芯茂科技（浙江嘉善）放置中国首台高速碳化硅金刚线多线切设备样机，提供实机展示、碳化硅晶棒切割、工艺验证等相关技术服务。

安永公司简介

安永于1949年在日本三重创立，1996年在东京证券交易所上市。日本国内设有有5个加工工厂，4处销售据点，并分别在中国、韩国、新加坡、美国等海外国家共设有8个销售据点及生产工厂。

安永的主要事业内容分为「汽车·产业机械」、「太阳能电池·电子·半导体」、「环境机械」共3大模块，其中电子·半导体模块约占总业务比重的25%，主要产品集中在线切割机和检测设备，在日本及海外有诸多实绩。

安永线切机简介

安永此次提供的样机型号为HW-810，可对应6-8寸SiC、GaN等多种高硬度材料的线切加工需求。

该设备的主要特点在于高线速、高刚性、高精度、低损耗、节能环保等多个方面。尤其是该设备的高线速加工，实现了最高线速3000M/min，相比目前业内较多的砂浆线切工艺，线速提升约4倍以上，单根碳化硅晶锭的切割时间提升了14倍以上，月产最大可达到13000片以上（6寸SiC），可以极大的提高生产效率。大大提升了切割效率，节省了设备购置数量，节约了大量工厂空间，使加工成本较砂浆线切方式有非常大的优势。

安永也正在开发测试φ100um的线材，以进一步降低切割损耗，提升出片数量。

HW810的特点及优势

HW810加工精度实绩

（试验数据）