研究工业用高端微纳传感器与系统，解决应用难题

近日，由太原理工大学联合国内多家优势单位共同承担的“工业用高端微纳传感器与系统研究开发”项目启动。

该项目属于国家863计划先进制造技术领域，主要攻克高性能MEMS传感器及测控部件共性关键技术及其在物联网、智能机械装备、MEMS批量化测试中的集成与应用。目前项目研究内容、考核指标、技术创新、预期成果、实施分工、经费预算及年度工作计划等已经确定。

目前我国工业用高端微纳传感器及系统领域，存在着诸多问题亟待解决。如产品数据传输复杂，监控精度不高，参数单一集成化程度不高等，同时还存在传感器标定测试技术效率低，需有源供电以及寿命短等问题。这些问题影响了物联网、智能机械装备等产业的发展。该项目的启动，将研制出更高性能的MEMS传感器及测控部件，并解决相关应用难题。