高固有频率纳米膜压阻加速度传感器研究将开展

近日，“高固有频率纳米膜压阻加速度传感器研究”项目获得立项批复，项目总经费78万元。

该项目由沈阳仪表研究院与沈阳工业大学联合申报，执行年限为2014年1月至2017年12月。该项目将设计一种MEMS加速度传感器，带有主梁和超薄敏感微梁，主要基于纳米功能材料来实现。

该MEMS加速度传感器的灵敏度和温度特性大大得到提升，主要得益于纳米膜压阻微梁之超常的机械特性，以及良好的压阻特性。目前加速传感器中普遍存在着谐振频率与灵敏度相互制约的难题，而如何解决这一难题成为业内的一大挑战。该项目将通过对该敏感结构之主梁和微梁的合理设计，解决该难题，并实现均衡提高固有谐振频率和灵敏度。

研究人员将突破微梁加工和芯片钝化、封装等关键技术，研制出新型加速度传感器样品，并对其可行性和优势进行验证。该项目对于推进我国在隧道压阻效应、纳米复合膜微梁力学特性以及新型加速度传感器技术等方面的研究具有重要意义，并为更深入和广阔的应用提供了可能。