中科院微电子所建所60周年，自主创新铸未来

2018年10月20日，中国科学院微电子研究所庆祝建所60周年暨中国集成电路产业发展创新战略研讨会在微电子所主楼举行。

本次活动的主题是“砥砺前行六十载，自主创新铸未来”，党委副书记、副所长戴博伟主持了建所60周年活动。

中国科学院微电子研究所所长叶甜春做主题发言，他全面回顾了从1958年中科院109厂创立，到1986年微电子中心成立，直至2003年更名为微电子所的发展历程，并简要介绍了研究所近年来科研和产业化工作进展以及未来规划，指出微电子所有着光辉的发展历程和深厚的文化积淀。

中国科学院微电子研究所的前身是我国第一个半导体器件生产厂中国科学院109厂。109源于国防专用109计算机的代号。时任中科院院长郭沫若赞赏说：“有了109(厂)，中国就(开始)有半导体事业了。”

当年，109厂面向国家战略需求，在半导体材料和器件的生产研制方面填补了国内空白。109厂创造了多项国内第一： 1960年，研制生产国内第一批锗晶体管;1964年，在国内率先开发生产硅平面晶体管;1965年，在国内率先研制生产集成电路;1966年，合作研制我国第一台65型接触式光刻机和超声波铝丝压焊机;1980年，研发出我国第一块16K存储器;1980-1990年代，先后成功研制我国第一块自主设计的64K DRAM 存储器，在国内率先开发成功2微米、0.8微米CMOS工艺技术，自主设计研制成功国内首台磁增强反应离子刻蚀设备;参与开发我国第一代“熊猫集成电路CAD系统”。

叶甜春所长在发言中强调，经过六十年的发展，微电子所已成为我国微电子与集成电路技术创新的核心力量之一，研究领域包括微电子设计、先导工艺、新器件、新装备、系统应用与物联网技术等。研究所以行业应用、行业服务、核心产品和基础研究为重点进行科研布局，设有2个基础研究类中国科学院重点实验室，4个行业服务类研发中心，6个行业应用类研发中心，3个核心产品类研发中心。 近年来，在集成电路先导技术、物联网核心技术与应用、高可靠器件与电路、新一代微电子器件与集成技术方面取得了一系列重大创新成果，在22-14纳米关键工艺、系统封装等先导技术创新上取得突破，形成了一大批自主知识产权;突破了智能制造、农资物联网、公共安全、车联网、智能集成传感器等物联网关键核心技术;研发出上百款高可靠器件与电路，支撑了多项国家重大工程;阻变式存储器基础研究和三维集成技术达到国际先进水平。

国家集成电路产业投资基金股份有限公司董事长王占甫、紫光集团联席总裁刁石京、中国科学院半导体研究所副所长杨富华、中国科学院计算技术研究所副所长王晓红、华润微电子有限公司常务副董事长陈南翔、北方华创科技集团股份有限公司副董事长耿锦启、江苏长电科技股份有限公司董事长王新潮、天水华天科技股份有限公司董事长肖胜利、北京经济开发区管委会副主任陈小男先后登台致辞，对微电子所建所60周年表示祝贺，对微电子所60年来取得的成就表示祝贺，对微电子所在合作过程中给予的支持和帮助表示感谢!

本次中国集成电路产业发展创新战略研讨会由叶甜春所长主持，研讨会特别邀请了电子信息领域国家科技重大专项监督评估专家组组长马俊如教授、华虹集团董事长张素心、中芯国际联席首席执行官赵海军博士三位产业专家做报告。

电子信息领域国家科技重大专项监督评估专家组组长马俊如教授做了题为《科技引领创新--探讨IC技术发展一些问题》的主题演讲。他认为集成电路和信息网络相结合正在创造前所未有的优良发展机遇，是第四次工业革命的核心技术和支柱产业。马俊如教授首先从“先进量子理论指导下的技术创新”、“巧夺天工的超微加工和互连技术”、“颠覆性芯片价格规律”、“改变世界发展进程应用”等四个方面单号阐述了为什么集成电路发明60年后仍有强盛不可替代的影响力的问题。然后在“寻找我国IC技术和产业发展的加速因子”中，从技术创新方面评价了02专项的创新实践，透过技术创新进展对比今昔，认为02专项10年来的创新实践表明，现行的运行模式，实现了跨越发展，缩短了差距。他总结到，要知己知彼，才能把握未来，要精神抖擞的在摩尔跑道上向前冲刺。

华虹集团董事长张素心做了题为《开放、创新、合作》的主题演讲。他分析了全球产业尤其是电子信息产业的转移和变迁规律，面对中国产业转型和集成电路发展的机遇，从自主创新、跨越式发展和商业模式等角度，阐述了加快发展我国集成电路产业的有关思考。

中芯国际联席首席执行官赵海军博士做了题为《芯片制造--回顾、调整、再出发》的主题演讲。他分析了集成电路制造产业的四大特点和技术发展趋势后，指出了世界级晶圆生产工厂，按客户追求的高质量和便宜的价格生产战略言考虑的因素。他表示，本土代工公司在专注大生产技术时要强化大平台、大客户、大应用、大几率，要结盟大客户，培养本土新秀。

中国科学院吴德馨院士、刘明院士、杨德仁院士，以及来自全国示范性微电子学院、科研院所、产业界的100多位代表参加了此次活动。

六十载栉风沐雨，几代人薪火相传!

砥砺前行六十载，自主创新铸未来!

叶甜春所长表示，在新的历史起点上，微电子所将继续秉承“惟精惟一，求是求新”的所训，不忘科技报国初心，牢记科技强国使命，坚持面向世界科技前沿、面向国家重大需求、面向国民经济主战场，深入实施“率先行动”计划，不断提升原始创新能力，在集成电路技术领域实现更多基础性、前瞻性和战略性突破，为我国经济社会发展做出更大的科技创新贡献。

祝愿微电子所的下一个60年更精彩!更辉煌!