拓荆科技答科创板首轮问：在手订单金额超15亿元 主要产品国内尚无竞争对手

《科创板日报》（上海，记者 吴凡）， 近日，科创板申报企业拓荆科技股份有限公司（下称“拓荆科技”）回复了首轮问询。

作为国产半导体设备厂商，拓荆科技主要产品包括等离子体增强化学气相沉积（PEVCD）设备、原子层沉积（ALD）设备和次常压化学气相沉积（SACVD）设备三个产品系。报告期内，公司收入主要来自于PECVD设备且收入大幅增长，对此上交所要求公司按细分产品类别分析PECVD产品的收入构成，并分析各细分产品报告期内的收入、毛利率波动情况及原因。

曾不足一周火速通过中芯国际(57.680, -0.59, -1.01%)验证

《科创板日报》记者了解到，拓荆科技已实现产业化应用并实现销售的产品包括12英寸PECVD设备（PF-300T）和8英寸PECVD设备（PF-200T）。PF-300T设备主要应用于28nm以上逻辑芯片及FLASH、DRAM存储芯片制造，PF-200T设备主要应用于90nm以上集成电路前道工艺及3DTSV先进封装环节。

2018年至2020年，拓荆科技实现的PF-300T设备的销量分别为：12台、41台、86台，实现收入分别为：4189.28万元、1.49亿元和3.2亿元，占各期营收比重为：63.18%、60.04%和74.91%。由此可见，公司PECVD销售收入大幅上升，主要系PF-300T销售数量上升。

回复函显示，下游晶圆厂需求增加催升半导体专用设备的需求上升、国内晶圆制造厂逐渐注重供应链安全和成本控制等外部因素，是拓荆科技PF-300T销售数量上升重要原因之一；从内部因素看，拓荆科技的薄膜沉积设备在前期通过了多家客户的验证，也为PF-300T设备的销量增长打下基础。

根据拓荆科技机台发出时订单的形式或状态，区分为Demo机台和销售机台。其中Demo机台一般为新工艺或新机型的首次应用和验证，因此Demo机台验收周期约为15-24个月，而销售机台一般系相同工艺通过验证后的二次采购，验收周期约为3-6个月。

2018年、2019年、2020年以及2021年1至3月，拓荆科技PECVD设备的Demo机台报告期平均验收周期为24.18月，而销售机台报告期平均验收周期则缩短为6.08个月。也就是说，在通过客户的首次验证后，后续产品的验证速度会得到较大的提升。

以拓荆科技的主要客户之一中芯国际为例，报告期内，拓荆科技向中芯国际下属公司共计实现销售23台设备，其中已验证工艺的机台有21台，平均验收周期为3.50个月，报告期内验收周期短于2个月，特别是在2019年12月，拓荆科技向中芯国际（天津）交付的PECVD设备的验证周期仅0.2个月，即不到一周的时间。

对此拓荆科技解释称，验收周期较短的原因主要系中芯国际对产能需求较为急迫，公司响应其需求进行快速装机，且均属于已验证工艺，测试时间短，部分机台在完成工艺测试后中芯国际即结束验收流程，直接投入量产。其中序号16-19的机台均用于中芯国际的同一条产线，故于同时间验收。

除PECVD设备外，拓荆科技同时在回复函中披露了其余主要产品的验证情况。截至回复签署日，公司共计8台ALD、SACVD产品处于产线验证中。

其中，发往北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司（以下简称“北方创新”）的2台SACVD设备分别为BPSG工艺和SAF工艺SA-300T首台套产品，发往长江存储的ALD设备为FT-300H首台套产品；发往武汉新芯、北方创新、上海积塔和中芯绍兴的5台ALD、SACVD设备为成熟产品销售验证。

预计今年扭亏为盈

除上述在验证中设备外，公司与ICRD签署了1台ALD设备（FT-300T）、2台SACVD（SA-300T）设备的正式销售合同，尚未发货；与浙江创芯集成电路有限公司签署了1台SACVD（SA-300T）设备正式销售合同，尚未发货。

拓荆科技称，截至回复签署日，公司在手销售订单超过90台，不含税金额超过15亿元（不包括demo订单），新增包括上海积塔、广州粤芯等10余家客户。与报告期内的销售收入总额81,526.42万元相比，公司在手订单规模已接近翻倍。

另外从行业发展空间看，Maximize Market Research预计全球半导体薄膜沉积设备市场规模在2025年将从2020年的172亿美元扩大至340亿美元，保持年复合13.3%的增长速度。

一位拓荆科技的早期投资人向《科创板日报》记者表示，随着社会硅含量提升，下游需求拉动晶圆厂扩产，整个半导体产业链向中国进行产业转移，叠加国产集成电路装备产业十年前未雨绸缪产业布局，当前正是集成电路装备产业发展的黄金时代，集成电路装备国产化投资兼顾社会责任和投资价值。

值得注意的是，国内厂商中，中微公司(157.900, -9.42, -5.63%)和北方华创(342.470, -27.23, -7.37%)同样也生产半导体薄膜沉积设备，但拓荆科技在回复函中称，前述企业产品的应用领域、技术原理与公司不存在重叠和替代关系，其中中微公司MOCVD 设备为 4 英寸化合物半导体晶圆设备，其主要客户为LED厂商，北方华创的 PECVD 设备是应用于光伏和 LED 领域，未进入集成电路制造领域。

也就是说，拓荆科技主要产品的竞争对手为海外厂商，不存在国内其他竞争对手。

基于上述在手订单规模，同时结合相应客户历史验收周期等因素，拓荆科技对2021年及后续年份的业绩进行了预测，其中公司预计2021年实现营业收入5.5亿元以上，并在当年实现扭亏为盈。另外公司预计2024年度收入规模达到14.46亿元时，营业收入可以覆盖营业成本和期间费用，并实现扣除非经常性损益后盈利4797.47万元。