国内半导体设备厂商弥费科技获超亿元A轮融资，启明创投领投

近日，国内一家半导体晶圆厂自动化设备企业弥费科技宣布完成超亿元 A 轮融资，此轮融资由启明创投领投，金浦智能、红晔资本跟投。

弥费科技表示，本轮融资资金将用于扩大公司运营规模、加大研发投资和拓展海外市场。

公开资料显示，弥费科技成立于 2014 年 11 月，是中国上海的一家科技驱动型公司，专注于生产、研发、销售适用于半导体厂的自动物料搬运系统（AMHS, Automated Material Handling System）。

作为中国首家提供半导体产业的自动化传送系统供应商，弥费科技自 2016 年起陆续为国内外多个 8 英寸和 12 英寸晶圆厂提供 AMHS 产品，包括调度软件、传送及存储设备，并为 40/28 纳米及以下先进工艺节点提供净化设备，主要客户覆盖国内外知名晶圆代工厂。

在晶圆厂中，AMHS 是工厂稼动率及品质一致性的重要保证之一。以目前中国大陆量产的 28nm 工艺节点为例，一个 4 万片月产能 28 nm工艺节点的全自动晶圆厂每天的晶圆盒传送量超 10 万次，此时 AMHS 系统就会发挥作用，其高效率、高可靠和低尘、低振动的特点，能够提高效率和晶圆生产品质，因此成为先进工艺晶圆厂大规模量产的必备系统。