住友化学将在韩国建厂生产ArF光刻胶

图：住友化学公告

公告指出，住友化学将在大阪工厂（日本大阪河野谷）扩建浸入式ArF和EUV光刻胶生产线，同时，还计划在其全资子公司韩国东宇精细化学株式会社益山厂建立一座新的ArF浸没光刻用光刻胶生产工厂。

住友化学表示，大阪工厂计划于2023财年上半年开始投产，东宇精细化学益山工厂计划于2024财年上半年开始投产。

由于大阪工厂的产能扩建和此次新建工厂，住友化学的ArF光刻胶产能到2024年度将提高至2019年度的2.5倍。