净利增316%，KrF光刻胶取得订单！这家公司再获突破

上海新阳表示，业绩增长主要是公司晶圆制造用电镀液及清洗液等超纯化学产品营业收入大幅增长所致。

据公告，上海新阳自主研发的KrF光刻胶产品已通过客户认证，并成功取得订单。

KrF光刻胶产品的开发和产业化是公司第三大核心技术——光刻技术的重要方向之一，本次产品认证的通过及订单的取得，标志着“KrF光刻胶产品的开发和产业化”取得了阶段性成功，为公司在光刻技术领域目标的全面完成奠定了坚实基础。

此前，上海新阳在投资平台表示，公司KrF光刻胶已取得2家客户订单，ArF干法光刻胶尚在认证当中。

光刻胶是一种对光敏感的混合液体，其主要作用是通过光化学反应，基于曝光、显影等光刻工序将所需要刻蚀的细微图形从光罩(掩模版)转移到待加工硅基片上。除了提高加工精度，光刻胶还可以保护硅基材免受腐蚀，阻止离子影响。

光刻胶材料是集成电路制造领域的重要关键材料，广泛应用于350nm-14nm甚至 7nm 技术节点的集成电路制造工艺。

上海新阳表示，随着国内晶圆厂建设的不断增多，以及国外光刻胶巨头产能受限，供需紧张，国内对光刻胶产品的需求也将快速增长，公司光刻胶产品的订单取得意义重大。