台积电晶圆厂气体污染原因揭晓

台积电位于南科的晶圆18厂上个月底惊传遭到气体污染，外界一度忧心是否会影响苹果iPhone年度新机的出货进度。不过，目前看来，气体污染事件的影响极其轻微，主要是因为这个化学反应的关系。

台积电位于南科的晶圆18厂上周传出疑因氧气供应受到污染，导致部分产线停摆。由于晶圆18厂是台积电最先进的5纳米制程生产基地，大客户正是美商苹果，而8月又将进入iPhone处理器A15的生产旺季，引起市场高度关注后续影响。

当时，台积电就针对气体污染事件表示，已实时调度其他气体供应。为确保生产质量无虞，正进行严密后续作业；这事件目前已知对营运并无造成显著影响，后续将持续追踪。目前看来，该事件确实影响极其轻微。

据了解，当时晶圆18厂被污染，主要是因为半导体制程必备的氧气，被混入了氩气（Ar2）。氩气是一种无色无味的惰性气体，一般无害，但在高浓度下，会使人窒息。

这次晶圆18厂的氧气虽然遭到氩气污染，但因为氩气并不参与化学反应，所以对生产过程没有影响，工厂端只需要清洗储存槽即可。

法人认为，这起气体污染事件，将不影响台积电8月营收表现，也不会干扰苹果iPhone新机用的处理器A15生产。

氩气常用于半导体、太阳能、显示器和LED制造商，最常见的用途是为大型硅晶体的生长或大型整块硅晶铸块的生产，提供一种惰性环境；晶体或晶块经切割后制成太阳能和半导体行业所使用的硅片。

而太阳能芯片生产是氩气消耗量最大的应用。氩气还可用于吹扫电子工艺设备，以免较高温度条件下发生有害化学反应。