“没一家能看”？ 光刻胶国产化成果的实情究竟如何

今年半导体整体行情涨势猛，以致于证券分析师也显得“激动”。行业圈子里流传出半导体分析师呛声中芯国际光刻胶负责人杨晓松“你算老几”的八卦。

看热闹的同时，许多人更关注，杨晓松所说的“ArF没一家能看”涉及的光刻胶国产化成果的真实情况究竟如何？

中芯国际大佬吐槽国产光刻胶，遭行业分析师怒怼

从网络上流传的微信群聊截图来看，近日此怼人事件发生在一个名为“半导体行业交流”的500人微信群聊中。

杨晓松在群内发言，“别扯ArF，没一家能看的，各个都不敢来见我。”

对此发言，群内昵称备注为“西南电子”的陈杭呛声杨晓松“你算老几？”。

而后陈杭继续说道，“中芯国际进入实体名单后，完全基于美系设备的7nm，其现实意义远小于基于国产设备的成熟工艺，晶圆代工厂并不是半导体的最底层技术，只是芯片设备、材料、工艺的集成商。中国半导体的主要矛盾已经从缺少先进工艺调教，转移到缺少国产半导体设备、材料。”

对此，杨晓松揶揄陈杭表示，“你知道的太少了” 并配了一个「奸笑」表情。

之后，陈杭被移出群。群里其他人表示，最近资本市场的人有点自信过头了。

杨晓松继续引用陈杭所言的“你算老几”回复表示，“你去问问国内所有做光刻的，我敢不敢这么说。”

光刻胶全球格局：美日企业占9成市场份额

陈杭与杨晓松二人“争执”的内容涉及高端光刻胶方面的国产化成果。业界周知，光刻胶是晶圆制造的核心材料之一，具有极高的行业壁垒。

全球竞争格局来看，以KrF和ArF光刻胶为代表的中高端核心技术基本被海外企业所垄断，来自日本的JSR、东京应化、信越化学、富士电子和来自美国的罗门哈斯五家头部公司占据全球超过90%的市场份额。

国内生产产能主要集中在g线和i线光刻胶，多应用于成熟工艺制成，中高端光刻胶的攻克迫在眉睫。

数据来源：choice数据，国联证券

“没一家能看”？ 光刻胶国产化成果的实情究竟如何

虽然相较美、日光刻胶龙头企业技术落后，但国内的企业也在积极研发高端光刻胶产品，力求实现技术突破，争取部分替代进口光刻胶。

国内从事高端光刻胶研发和生产的公司主要有北京科华、南大光电、晶瑞股份、上海新阳等，其各自的产品线和发展进程大致如下：

北京科华是目前国内唯一可以批量供应KrF光刻胶给本土8寸和12寸的晶圆厂客户的公司。公司日前发布公告，子公司彤程电子投资5.7亿元在上海建设年产1.1万吨半导体、平板显示用光刻胶及2万吨相关配套试剂项目，预计于2021年末建成投产。

目前北京科华共有g/i线光刻胶产能500吨/年，KrF光刻胶10吨/年，同时国内仅有北京科华在EUV光刻胶处于早期研究阶段。

另一家光刻胶企业南大光电的ArF光刻胶已通过50nm闪存平台认证和55nm逻辑电路平台认证，成为国内通过产品验证的第一只国产ArF光刻胶。

该公司公告称，公司承担的国家科技重大专项 (02 专项) 之“ArF光刻胶产品开发与产业化”项目已通过专家组验收，这种光刻胶可用于90nm-14nm甚至7nm技术节点的集成电路制造工艺，已建成年产25吨的ArF(干式和浸没式) 光刻胶产品生产线。

不过，南大光电也指出，公司目前的ArF光刻胶产品尚未实现规模化量产。

ArF光刻胶的复杂性决定了其在稳定量产阶段仍然存在工艺上的诸多风险，不仅需要技术攻关，还需要在应用中进行工艺的改进、完善。

同时，ArF光刻胶产品国产化替代受品质、客户的严格要求，后续是否能取得下游客户的大批量订单，能否大规模进入市场仍存在较多的不确定性。

此外，晶瑞股份的KrF光刻胶完成中试，建成了中试示范线，且在去年斥巨资购买了ASMLXT 1900 Gi型ArF浸入式光刻机正加速推进Arf光刻胶的研发体系。

最后来看上海新阳，公司近期拟募资开发集成电路制造中ArF干法工艺使用的光刻胶和面向3D NAND台阶刻蚀的KrF厚膜光刻胶产品，力争于2023年前实现上述产品的产业化。

受益于全球光刻胶供不应求，本土企业机会来了

我国是半导体光刻胶全球最大的市场，市场规模占全球比重约为32%，需求庞大。

由于今年日本福岛地震，导致光刻胶龙头信越化学福岛工厂关闭，停止供货部分晶圆厂光刻胶，产能受限，加上全球晶圆厂新增产能较多，对光刻胶需求高涨，光刻胶供不应求。

全球光刻胶供不应求，国内光刻胶厂商获国产替代机会，上半年业绩暴涨。

例如，晶瑞股份预计上半年实现净利润 1.13亿元-1.47亿元，同比增长456.58%-623.56%；上海新阳预计上半年实现净利润1.05亿元-1.15亿元，同比增长304.96% -343.53%。

小结

本土企业与海外光刻胶龙头企业的差距明显，但随着本土企业的积极推进和国产替代进程的加速，已有所进步和突破。

例如，北京科华已能够批量供应KrF光刻胶给本土客户；南大光电的ArF光刻胶已通过部分产品验证，只是目前尚未实现规模化量产。

高端光刻胶技术壁垒较高，本土企业想要打破海外龙头企业垄断市场的局面绝非易事，行业应该多给本土企业多一些时间。