台积电突发氧气污染事故

在全球芯片产业紧缺的背景下，全球最大得芯片代工企业台积电一举一动牵动全球芯片产业神经。据媒体报道，29日晚间台积电最先进5nm工厂发生氧气污染，部分产线停摆。

台积电30日表示，台积电南科18ａ部分厂区来自厂商供应的气体疑似受到污染，但已即时调度其他气体供应。台积电强调，“为确保生产品质无虞，目前正进行严密后续作业。此事件目前已知对营运并无造成显著影响，后续将持续追踪。”

报道称，从目前情况看，台积电南科18a厂厂区仍维持正常出入，不过进出人员三缄其口。但报道指出，目前供货商都被挡在门外，且有消息称30日12时台积电18厂举行生产会议，由此判断，生产应该受到了影响。预计全力清理受污染的氧气槽，估计需花费三到四个工作日才能让生产作业恢复正常水准。

台积电31日重申，此事件目前已知对营运并无造成显著影响，后续将持续追踪。台积电强调，经内部评估，此事件并不影响产品交期。

半导体从业者表示，半导体生产工序多达700多道，约有270道需使用氧气，包括蚀刻、物理及化学研磨，几乎都是核心工序。

全球四大气体公司之一的林德（Linde）公司，为全球很多半导体公司供应气体，包括台积电等都是其客户，德林公司中国区总经理此前曾在接受媒体采访时表示“对电子行业而言，设备投资很贵，工艺要求很复杂，良率是竞争力的保证。要怎样得到好的良率，除了工艺保证之外，工业气体的纯度、稳定性、可靠性都是先决条件。业内最近两年发生过一些良率事故，都是因为气体纯度出了问题。”

台积电2019年第一季发生光阻液受污染，受影响客户包括苹果、高通、辉达、超微、海思、联发科等重量级客户，并造成单季营收短少五点五亿美元，毛利率减少二点六个百分点。

目前台积电18a厂处理的是目前台积电最先进的5纳米核心工序，生产项目是苹果下一代5G手机要用的核心处理器和美国超威半导体（AMD）的新一代处理器。台积电5nm制程今年进入量产第2年，下个月还将进入主力大客户苹果的生产高峰期，市场传出，苹果为iPhone13使用的A15处理器预定了上亿片的投片量，准备迎接新机备货潮，台积电的交货期间将自8月起至明年初。

台南厂区是台积电先进制程的核心厂区，供货对象都是国际知名大厂，所以其工厂的“风吹草动”牵动业界。在今年早些时候举行的台积电2021年技术论坛上，台积电营运组织资深副总经理秦永沛曾透露，台积电在晶圆厂区规划，位于台南厂区的晶圆十八厂，前三期厂房已量产5 纳米制程，第四期正在施工中，十八厂第五到八期是3 纳米生产基地，正准备中；晶圆十四厂第八期将是未来特殊制程生产基地，先进封装生产基地也在兴建中。

关于新竹厂区部分，秦永沛表示，为提高3 纳米与2 纳米开发与生产效率，原先计划的研发中心将改为晶圆十二厂第八期、第九期，其中第八期正在兴建中，将于今年完成，也计划建造一座生产2 纳米制程的新晶圆厂，目前正进行土地取得程序。

台积电目前仍在积极扩展产能中，秦永沛透露，台积电2023 年5 纳米产能与2020 年相较，将大增逾4 倍。