台积电岛内首座自动化先进材料分析中心正式开幕
来源:中国半导体行业协会发布时间:2021-04-01
询问 AI台积电近日宣布，岛内首座高自动化先进材料分析中心正式开幕。
据中国台湾地区《经济日报》3月31日报道，该中心首创高效率危害物质筛检机制，该中心并建置中国台湾地区半导体界首台全自动光阻分析整合平台，减少员工曝露于化学品危害，并提升分析效率93%。
该中心于3月24日正式开幕，同步建置专属的原物料危害物质特征频谱数据库，透过业界首创的高效率危害物质筛检机制，完成100%有疑虑材料分析，大幅减少分析流程与资料判读时间，从7天缩短至12小时，效率提升93%。
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