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国内首台套直径700mm超精密立式柜台数控磨床研发成功

来源:中国半导体行业协会发布时间:2021-05-24

北京博鲁斯潘精密机床有限公司（以下简称“博鲁斯潘”）成功研发国内首台套直径700mm超精密立式柜台数控磨床。
　　
　　据杭实资管消息，博鲁斯潘与中国科学院长春光机所国望光学杨怀江博士团队合作研发的光刻机物镜系统超精密磨床ULTR-700VG于今年5月通过国家机床质量监督检验检测中心检测。该磨床精度0.1~0.2μm，优化环境干扰，可以稳态到0.1μm。
　　
　　红马资本消息显示，该款机床主要用于超精密光学器件批量化加工，包括光刻机核心的物镜系统，对我国芯片产业上游突破国外封锁具有重要意义，是解决“卡脖子”问题的关键装备之一。
　　
　　据悉，博鲁斯潘成立于2006年，主要从事精密/超精密数控机床、计算机芯片制造所需要的超精密纳米光学机床、精密超精密测试设备等高端装备的研发设计、制造与销售。