中芯绍兴已实现7万片月产能，良率达99%以上

晶圆代工厂中芯国际日前又一个重要项目开始量产。据报道称，位于浙江绍兴的中芯绍兴成功完成晶圆设备链调试。中芯绍兴现产能爬坡至7万片/月，良品率达99%以上。

近日，浙江省发展改革委组织开展浙江省第一、二批13个“万亩千亿”新产业平台2020年度评价工作。绍兴市滨海新区集成电路产业以93.44分的高分再次取得全省“万亩千亿”新产业平台考评第二名。如今，绍兴集成电路产业平台全域已集聚集成电路规上企业98家，2020年综合产值已突破300亿元。作为首个投产的标志性项目，中芯绍兴已实现7万片月产能和99%以上良率。

中芯集成电路制造(绍兴)项目于2018年正式开工奠基，总投资58.8亿元，拟建设一条集成电路8寸芯片制造生产线和一条模组封装生产线，一期规划建设总用地面积138386平方米。该项目达产后预计形成芯片年出货51万片和模组年出货19.95亿颗的产业规模，将量产麦克风、惯性、射频、MOSFET以及IGBT等产品的芯片和模组，实现年销售收入达40亿人民币。2019年6月，中芯绍兴MEMS和功率器件芯片制造及封装测试生产基地项目迎来主体工程结顶仪式。

2020 年 1 月中芯集成电路制造(绍兴)有限公司 8 英寸项目正式量产，产能爬坡迅速。

中芯绍兴布局三大工艺平台：一是 MEMS 平台，包括 MEMS 麦克风、压力传感器、超声波传感器、振荡器、加速度计、陀螺仪;二是 MOSFET 工艺平台，包括沟槽式 MOSFET、分栅式 MOSFET 以及超结 MOSFET;三是立足场截止型(Field Stop)IGBT 结构。

2020 年是绍兴集成电路产业平台开启全面建设的关键之年。一年多来，平台聚焦集成电路设计 — 制造 — 封装 — 测试 — 设备及应用全产业链，多措并举为打造以集成电路为核心的高能级现代产业体系厚植根基。2020 年，集成电路产业总产值突破 300 亿元，成为绍兴城市综合经济实力提升到全国第 29 位的重要动力。