晶瑞股份：正在加快推进KrF光刻胶客户验证

今年以来，随着经济复苏，国内外晶圆厂积极扩产，除了台积电、三星、英特尔、联电等晶圆厂外，中芯国际、华虹宏力、广州粤芯等本土晶圆厂也积极扩产和释放产能。这导致国内光刻胶需求量大增，尤其是在KrF、ArF等高端半导体光刻胶。

但受国产光刻胶企业技术限制，我国在高端光刻胶主要依靠进口。

据披露，今年2月份在日本福岛地震影响下，半导体光刻胶市场规模近13%的信越化学至今尚未完全恢复生产。同时，在产线受到影响和晶圆厂扩产等多方因素下，信越化学不得不停止向中国大陆几家晶圆厂高端光刻胶的供应。受此影响，国内多家晶圆厂KrF光刻胶供应紧张，部分晶圆厂甚至出现断供，多家晶圆厂不得不转向导入本土光刻胶企业。

媒体从晶瑞股份获悉，受日本信越化学KrF光刻胶对我国多家晶圆厂限供或断供影响，国内KrF光刻胶严重缺货。目前，晶瑞股份的KrF光刻胶已完成中试，正在加快推进相关产品的下游客户验证。